第 1 页 共 5 页 行业资料： ________ 角向砂轮机安全操作规程 单位： ______________________ 部门： ______________________ 日期： ______年_____月_____日 第 2 页 共 5 页 角向砂轮机安全操作规程 1、使用前检查角向砂轮机的各部件是否完好，所有大小零件都需 安装正确并符合规定。 2、检查电源线与插头是否完好，不准使用电源线受损的角向砂轮 机。 3、角向砂轮机不可弄湿，也不可在潮湿的环境使用。砂轮机手柄 应保持干燥，无损坏和裂纹。 4、在工作间隙不使用角向砂轮机或对砂轮机做任何换修的工作时， 一定要拔出电源插头。 5、确认角向砂轮机开关已关闭才可插上电源插头。使用后拔出插 头，不准握着电源线提起砂轮机。 6、工作时将电源线放置于角向砂轮机的后端。防止电源线被高速 旋转的砂轮片损坏而触电。 7、砂轮片
MEMS器件、保护电路、空间太阳电池等的制作需要使用硅双面抛光片,并且要求抛光片的厚度很薄,传统的硅抛光片加工工艺已经不能满足这一要求。介绍了一种用于超薄硅单晶双面抛光片加工的抛光工艺方法。通过对硅片抛光机理[1]、抛光方式、抛光工艺的研究和对抛光工艺试验结果的分析,解决了超薄硅单晶双面抛光片在加工过程中碎片率高、抛光片背面表面质量不易控制的技术难题,研制出了高质量的超薄硅单晶双面抛光片。
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