设备编号： 序号 设备异常时间 设备异常现象描述 维修内容 维修人 维修日期 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 审核： 制表人： 废气处理装置维修记录表 1、设备异常时间：为对应废气处理装置日常检查维护表中打“ Δ”或打“ X”的时间； 2、设备异常现象描述：为废气处理装置日常检查维护表中打“ Δ”或打“ X”位置对应的异常现象描述； 3、保养内容：为设备异常现象描述对应的采取的维护保养措施描述，如更换洗涤塔补水、更换洗涤塔循环水、更换装置配件等； 4、保养人：为进行维护保养内容人员； 5、保养日期：为完成维护保养内容的时间； 6、备注：为在进行维护保养过程中需要记录的其他事项。 填表说明： 备注 更换装置配件等；
等离子真空处理室是在高温高腐蚀条件下工作,环境严峻。美国专利发明的US6521046介绍的一种Al-Cu-MgSi合金是可在很大程度上满足这种要求的合金,它具有优异的抗热裂性能,又具有很强的抗腐蚀性能,在高温腐蚀环境中不产生污染物,又有良好的可焊性,是制造等离子处理设备如生产半导体和液晶显示屏真空室等的良好材料。该合
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