纯水系统施工规范

纯水系统阀门

超纯水系统工艺及其施工半 导体技术天地ii\'m$t gv(i.半导体技术天地%mq4a&wgo!hnv e 一、超纯水系统总体介绍半导体,芯片,集成电路,设计,版图,晶圆,制造,工艺,制程,封装,测 试,wafer,chip,ic,design,eda,fabrication,process,layout,package,test,fa,ra,qa, photo,etch,implant,diffustion,lithography,fab,fabl 随着电子工业的发展，在芯片的生产加工过程中，对于水质的要求也越来越高。为了保 证生产出超大规模的集成电路，除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外，高纯水也是 其中最关键的因素之一。高纯水系统是将一般的市政用水处理成对不同离子的含量和颗粒 度都有很高要求的超纯水。超纯水系统总体来说一

page1of19 纯水系统施工工艺 3纯水系统⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 3.1总则⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯2 3.2材料和管道表面处理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯2 3.3纯水储罐的标准⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯3 3.4材料情况的追踪⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯3 3.5工场的条件状况⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯3 3.6焊接方式⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯3 3.7储罐的装配⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯5 3.8管道的装配⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

纯水系统招标文件（技术文件）——纯水系统招标文件，word文档，共91页。　　纯水系统的招标文件。包含组织工艺，技术文件，可供参考。　　　　投标总要求　　1.1本技术规范书适用于xxxx60吨/小时超纯水工程，此工程为交钥匙工程，除土建、暖通、照明、保温...

纯水系统常用管材

超纯水系统1 超纯水系统 设 计 方 案 目录 一、设计条件及出水水质3 超纯水系统2 二、设计基本资料4 三、主要组件设备说明5 四、工艺方案流程及说明11 五、调试及售后服务内容12 一、设计条件及出水水质 1.1进水主要水质指标：东莞市自来水 1.2用户对出水要求： 出水量：超纯水9吨/小时 出水水质：主机系统超纯水：电阻率≥18mω.㎝@25℃； 出水温度：常温。 1.3水质检测：随机自带有电导率仪，出水电导率在线显示。 超纯水系统3 1.4设备最终产

纯水系统工艺流程简图 smb系统 超纯水增压泵 去105用 氮封水箱edi膜堆 回 清 洗 水 箱 氮 气 smb 回 微 滤 ro2水箱ro2系统 回 原 水 箱 edi增压泵 回 ro1 水 箱 ro 加 药 二级高压泵 盘式过滤 器 超滤器 清 洗 进 水 反 洗 进 水 反 洗 排 水 清 洗 回 水 原水箱 ro2浓水 ro1/ro2开机回水 原水阻 垢 剂 还 原 剂 原水泵 板式换热器 清 洗 排 水 压 缩 空 气 去 ro1 水 箱 简图 加 药 清浚入口一级高压泵 超滤反洗入口 膜 滤 器 去103用水点 去106用水点 105用水点 ro1水箱ro1系统 回 原 水 箱 清 洗 回 水 加 药 补 水 edi回流 高压泵 超滤水箱 超滤反洗泵 清 洗 回 水 排 放

1 方 案 书 目录 企业简介.................................................... 业务范围.................................................... 设计总则.................................................... 第一章项目概况............................................... 第二章技术规范要求........................................... 第三章工艺系统说明........................................... 第四章设备技术参数及详细清单........

沈阳莱特莱德科技有限公司 技术支持：18904059090www.***.*** 医药反渗透纯水系统方案说明 作者：苏晓潘主页：纯水机之家 源水水源：自来水（溶解性固体总含量：tds=550ppm） 成品水质：电导率：1～5μs/cm 产水量：125升/小时 医疗-制药用双级反渗透主要特点： 1、医疗-制药用双级反渗透系统采用机柜式设备，结构紧凑，外形美观，操作方便； 2、医疗-制药用双级反渗透出水水质在线监测，数字人显示准确直观，符合各种用水规范； 3、单片机全自动控制，停水、停电、满水自动停机并自动保护； 4、双级反渗透系统水回收率大，可达75%以上； 5、双级反渗透采用人性化设计，操作维护更方便。 医疗-制药用双级反渗透运用的其他行业： 1、实验室双级反渗透系统 化学分析、环境分析、检测分析、医学实验等实验室涉及的所有项目的分

反渗透纯水系统 操作规程 吉林海普科技发展有限公司 设备构成 反渗透出水系统主要由供水泵,多介质过滤器,活性炭过滤器,软 化装置,精密过滤器,高压泵,反渗透膜,全自动控制器,压力调节装置, 在线电导率检测仪,设备架体,全自动电器控制系统组成。 设备特点 框架式集成化结构，有效节约空间；反渗透膜和主要部件为进口 优质产品；安全的保护报警系统；高度的自动化设计可实现无人操作； 同时还具备手动操作功能；完善的预处理系统，延长膜使用寿命。 出水产量稳定，出水标准高：完全符合国家生活饮用水标准 （gb5749-85）及国家瓶装饮用水卫生标准（gb17324-1999和 gb17323-1999）。 操作规程 1、启动自动运行 1）、首先打开电控箱门、向上推动电源开关为设备供电,此时电 控箱门面板上的电压表和电流表进入工作状态，观察电压表示数是否 正确（≈

电子超纯水系统工程案例 1.设计条件及出水水质 1.1进水主要水质指标：成都市自来水 1.2用户对出水要求： 出水量：超纯水0.5吨/小时 出水压力：2公斤； 出水水质：主机系统超纯水：电阻率≥18mω.㎝@25℃； 出水温度：常温。 1.3水质检测：随机自带有电导率仪，出水电导率在线显示。 1.4设备最终产水量：纯水0.5吨/小时@25℃；超纯水0.5吨/小时@25℃； 1.5系统总进水量：1.2m3/h； 1.6一级反渗透的回收率≥50%； 1.7二级反渗透的回收率≥45%； 1.8第一级反渗透的浓水排放回收另作它用，我方可将浓水接至贵方要求的回收容器；第二级反渗透的浓水 全部回流至一级反渗透前，流量约为0.18t/h； 1.9cedi装置回收率：85～95%,回流流量约0.03m3/h；另一部分浓水排放回收作它用。 1.10控制方

反渗透纯水系统 操作规程 吉林海普科技发展有限公司 设备构成 反渗透出水系统主要由供水泵,多介质过滤器,活性炭过滤器,软 化装置,精密过滤器,高压泵,反渗透膜,全自动控制器,压力调节装置,在 线电导率检测仪,设备架体,全自动电器控制系统组成。 设备特点 框架式集成化结构，有效节约空间；反渗透膜和主要部件为进 口优质产品；安全的保护报警系统；高度的自动化设计可实现无人 操作；同时还具备手动操作功能；完善的预处理系统，延长膜使用 寿命。 出水产量稳定，出水标准高：完全符合国家生活饮用水标准 （gb5749-85）及国家瓶装饮用水卫生标准（gb17324-1999和 gb17323-1999）。 操作规程 1、启动自动运行 1）、首先打开电控箱门、向上推动电源开关为设备供电,此时 电控箱门面板上的电压表和电流表进入工作状态，观察电压表示数 是否正确（≈380v）

_____________________________________________________________共10页，第1 页 通用光伏能源(烟台)有限公司内部文件,非经书面准许,不得以任何形式复制及对外发行 allrightsstrictlyreservedreproductionorissuetothirdpartiesinanyformwhateverisnotpermittedwithoutwrittenauthorityfromtheproprietor. 编号：yt-sggf1101-v1（于编号中标示版次） gsp纯水发包工程 gsp纯水系统施工规范 编写者：孙振平编写日期：2010-2-25 审核者：审核日期： ________________________

医药生物行业用超纯水系统,水处理设备MOLPW

1/4 新大楼直饮水及纯水系统一年维修保养服务招标要求 一、招标项目名称：南方科技大学医院新大楼直饮水及纯水系统一年维修保养 服务 预算：￥万元 二、服务要求： （一）设备概况： 一套纯水预处理；纯水主机三套； 直饮水机主机两套；检验科双核超纯水主机一套。 （二）设备终端数量及耗材清单： 序号名称规格数量更换周期 直饮水系统 棉芯μ×″支个月 折叠式滤芯μ×″支个月 石英砂 石英砂 石英砂 活性炭吸附碘值大于 阳树脂 反渗透膜支 杀菌器灯管支 纯水系统 棉芯μ×″支个月 折叠式滤芯μ×″支个月 石英砂 石英砂 石英砂 活性炭吸附碘值大于 阳树脂 反渗透膜支 杀菌器灯管支 超纯水系统 2/4 折叠式滤芯μ×″支个月 电子级树脂φ×套 反渗透膜支 装置套 杀菌器灯管支 直饮水终端机 壁挂式饮水机清清牌台 立式饮水机

反渗透纯水系统 操作规程 吉林海普科技发展有限公司 设备构成 反渗透出水系统主要由供水泵,多介质过滤器,活性炭过滤器,软 化装置,精密过滤器,高压泵,反渗透膜,全自动控制器,压力调节装置, 在线电导率检测仪,设备架体,全自动电器控制系统组成。 设备特点 框架式集成化结构，有效节约空间；反渗透膜和主要部件为进口 优质产品；安全的保护报警系统；高度的自动化设计可实现无人操作； 同时还具备手动操作功能；完善的预处理系统，延长膜使用寿命。 出水产量稳定，出水标准高：完全符合国家生活饮用水标准 （gb5749-85）及国家瓶装饮用水卫生标准（gb17324-1999和 gb17323-1999）。 操作规程 1、启动自动运行 1）、首先打开电控箱门、向上推动电源开关为设备供电,此时电 控箱门面板上的电压表和电流表进入工作状态，观察电压表示数是否 正确（≈

中央空调施工规范 泉州市山木节能科技有限公司 中央空调水系统部分 施 工 规 范 说 明 工程部 中央空调施工规范 第一章总则 1.1为了适应公司的销售发展需要，加强风冷（水冷）冷水型中央空调系统工程质量的管理， 统一工程质量验收，保证工程施工质量，使公司工程安装更加规范化，工程验收标准化，参照国内 为先进标准，并结合本公司的安装施工技术资料，特制定本规范。 1.2本规范适用于本公司风冷（水冷）冷水型中央空调系统的的工程质量的验收。 1.3风冷（水冷）冷水型中央空调系统工程中使用的主要材料设备成品及半成品应有技术标准 的产品，并具有出厂合格证明。为工程加工的非标产品和防火要求的产品，应具有质量检验合格的 技术鉴定证明，并应符合国家及有关强制性标准的规定。 1.4风冷（水冷）冷水型中央空调系统施工质量验收除应执行本规范的规定，还应执行国家现 行标准规范的规定。 1.5本规范没有

超纯水系统多介质过滤器手动操作说明 手动操作时，设备运行时间以运行状态表中为准。 警告：1、确保执行阀门的开启之前必须确保气源压力足够，否则阀门未开启而 水泵启动，会造成严重后果！ 2、启动泵前，必须检查阀门和电磁阀是否处于正确运行状态，否则容易 发生憋压或串水。 3、通水时，必须先开阀门再启动泵；断水时，先停止泵再关闭阀门。 项次动作操作说明 1手动采水 1.将控制柜上多介质过滤器旋钮开关旋转到手动状态。 2.打开v1，v2号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动 操作对应之电磁阀来实现v1，v2号阀的开启；气源不满足时， 则需要用扳手强行拧开v1，v2号阀。） 3.手动操作开启原水送水泵（将原水送水泵旋钮开关置于手动位 置，按下启动按钮，泵即启动。注意：多介质过滤器和活性炭 过滤器必须一起运行，否则管道憋压。） 2手动逆洗 1.按下原水泵停止按钮，泵即停止。

本文简要介绍了高纯水的水质要求，高纯水系统常用的塑料管材，管道对高纯水水质的影响及其测定方法。

1总则 （征求意见稿2011.5.18） 1.0.1为了规范电子工业纯水系统安装工程的施工管理，统一工程施 工质量的验收，保证工程质量，制定本规范。 1.0.2本规范适用于新建、改建、扩建的电子工业纯水系统的安装及 验收。 1.0.3纯水系统的施工应按经批准的施工图、相关的技术标准及合同 约定的技术内容进行，施工图修改应有设计单位的设计变更通知书或技术核 定签证。 1.0.4纯水系统施工中采用的工程技术文件、承包合同文件中对施工 质量的要求不得低于本规范的规定。 1.0.5纯水系统工程安装及验收除应符合本规范的规定外，尚应符合国家现 行的有关标准、规范的规定。 2术语及缩略语 2.1术语 2.1.1电子工业纯水系统purewatersystemforelectronicindustry 制备电子工业生产所需的纯水、超纯水，由制备设备、管路、电气及

1总则 （征求意见稿2011.5.18） 1.0.1为了规范电子工业纯水系统安装工程的施工管理，统一工程施 工质量的验收，保证工程质量，制定本规范。 1.0.2本规范适用于新建、改建、扩建的电子工业纯水系统的安装及 验收。 1.0.3纯水系统的施工应按经批准的施工图、相关的技术标准及合同 约定的技术内容进行，施工图修改应有设计单位的设计变更通知书或技术核 定签证。 1.0.4纯水系统施工中采用的工程技术文件、承包合同文件中对施工 质量的要求不得低于本规范的规定。 1.0.5纯水系统工程安装及验收除应符合本规范的规定外，尚应符合国家现 行的有关标准、规范的规定。 2术语及缩略语 2.1术语 2.1.1电子工业纯水系统purewatersystemforelectronicindustry 制备电子工业生产所需的纯水、超纯水，由制备设备、管路、电气及

文章介绍了无锡某半导体工厂后段封装产线超纯水系统的工程设计与运行情况。该系统采用了二级ro+cdi+抛光混床技术,确保产水水质达到生产线使用要求,其中电阻率16mω.㎝以上。系统运行自动化程度高,稳定性好,化学品消耗量少,操作简便,运行费用低。