更新日期: 2024-04-28

Si片磨削中砂轮粒径对Si片损伤层的影响

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Si片磨削中砂轮粒径对Si片损伤层的影响 4.6

在直径300 mm Si片制备中,利用双面磨削技术能为后续加工提供高精度的表面,但Si片损伤层厚度较大。通过扫描电子显微镜和透射电子显微镜对Si片表面及截面进行观察,得到了经不同粒径的砂轮磨削后的Si片的表面及截面形貌、Si片的表面及亚表面损伤层的厚度并进行了分析比较。结果表明,用粒度更小的3000#砂轮磨削,能够有效地降低Si片表面及亚表面损伤层的厚度,为优化300 mm单晶Si片双面磨削工艺、提高Si片表面磨削质量提供了清晰、量化的实验理论依据。

砂轮粒径对300mm Si片双面磨削影响的研究 砂轮粒径对300mm Si片双面磨削影响的研究 砂轮粒径对300mm Si片双面磨削影响的研究

砂轮粒径对300mm Si片双面磨削影响的研究

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在直径300mmsi片制备过程中,利用双面磨削技术能获得高精度的表面参数,但同时却会在si片表面留下明显的磨削印痕,这会影响si片表面平整度。通过选择#2000和#3000砂轮对si片进行磨削实验,获得两种型号砂轮磨削出si片的形貌图、磨削印痕和局部平整度,并分别进行了比较。结果表明,选择粒度更细的#3000砂轮能够有效地弱化si片表面的磨削印痕,同时改善边缘局部平整度差的问题,从而提高si磨削片表面的局部平整度。

砂轮粒径对磨削后Si片表面形貌的影响 砂轮粒径对磨削后Si片表面形貌的影响 砂轮粒径对磨削后Si片表面形貌的影响

砂轮粒径对磨削后Si片表面形貌的影响

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磨削工艺被广泛应用于大直径si衬底的制备中,而由磨削带来的si片表面损伤及形貌对后续加工有较大的影响。利用扫描电子显微镜、粗糙度仪、喇曼光谱仪等工具对经过2000#、3000#、8000#砂轮磨削的si片表面损伤层厚度及表面形貌进行了一系列测试,通过对测试数据的分析,得到了不同粒径磨削砂轮的优缺点,在此基础上提出了将传统单步磨削工艺优化为2000#磨削+8000#磨削的两步加工工艺,该工艺既可以保证较高的si片表面质量,又具有较高的生产效率。

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砂轮片加工件材质硬度对振动频谱分布的影响

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砂轮片加工件材质硬度对振动频谱分布的影响 4.6

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砂轮粒度、砂轮转速对42CrMo钢磨削淬硬层的影响 4.5

在mm7132平面磨床上对正火态的42crmo钢进行了磨削淬火试验,研究了砂轮粒度及砂轮转速对淬硬层深度及组织的影响。结果表明:磨削深度在0.1~0.6mm变化时,砂轮粒度对淬硬层深度影响不明显,砂轮转速由1500r/min增加至3000r/min过程中,磨削淬火的工艺稳定性得到提高。磨削淬火后,42crmo钢的完全淬硬区显微硬度为510~850hv,完全淬硬区由细小的板条状马氏体组成,过渡区由马氏体、铁素体、珠光体以及回火索氏体组织组成。

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砂轮离心力对磨削精度的影响 4.8

在精密磨削工件时,高速旋转砂轮所产生的离心力会引起砂轮尺寸变化,势必影响被磨削工件的最终精度。为此,通过ansys动态仿真分析,发现砂轮直径变大、轴向尺寸缩进。分析结果为高速、精密数控磨削加工的砂轮几何参数补偿提供了依据。

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螺杆转子成形磨削中砂轮截形的计算 4.6

针对螺杆转子成形磨削中端面截形为离散点数据的情况,应用空间啮合原理建立了螺杆转子齿面加工的数学模型,推导了砂轮回转面和转子螺旋面之间的接触条件式,综合运用三次参数样条函数法、追赶法和fsolve函数,利用matlab软件编程计算出了砂轮轴向截形,为砂轮数控修整程序的编制提供了有效数据。

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球面磨削中砂轮磨损量的理论和实验研究 4.4

采用分块杯形砂轮磨削高硬度球面时,工件和砂轮接触面积随着砂轮的磨损而发生变化,对磨削力等参数有较大影响。基于展成法球面磨削原理研究了砂轮块的磨损过程,建立了砂轮磨损量、砂轮和工件接触面积的数学模型。实验研究了陶瓷结合剂cbn砂轮精密磨削wc-co球面涂层材料的砂轮磨损过程,通过sem实验分析了砂轮的磨损机理,验证了砂轮磨损量计算模型。

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砂轮片及加工件材质硬度对振动频谱分布的影响 4.4

本文对4种砂轮机(10台)进行振动测试和频谱分析,结果表明:砂轮机振动频谱图形均随砂轮片或加工件材质的改变而出现规律性变化,材质硬度较低时,6.3~40hz频段振动强度增高,50~1khz频段振动强度明显下降;材质硬度相对增大时,低高频段振动强度则相反。分析认为,砂轮片或加工件材质硬度直接影响频谱分布,是决定频率计权加速度值的重要因素。

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Si对Ti-Al-Si-N涂层微观结构及性能的影响

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Si对Ti-Al-Si-N涂层微观结构及性能的影响 4.4

ti-al-si-n涂层是在ti-al-n涂层基础上发展而来的一种四元复合涂层。本文综述了si对ti-al-si-n涂层微观结构、硬度、残余应力、抗氧化性能、热稳定性能、摩擦磨损性能及切削性能的影响。分析表明:si元素能有效细化晶粒,减少柱状晶,形成新型纳米结构,从而显著提高涂层硬度,可达39gpa;si的原子分数超过5%后,涂层残余应力逐渐降低;ti-al-si-n涂层在1100℃下仍具有良好的抗氧化性能;si元素使涂层的热稳定性能有很大提高,ti-al-si-n涂层1100℃氧化后硬度无显著变化;与ti-al-n涂层相比,添加si元素后涂层的摩擦系数由0.7下降至0.5;ti-al-si-n涂层刀具的使用寿命与si原子分数有很大的关系。

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金刚石砂轮恒力磨削Si_3N_4陶瓷的钝化模型 4.3

以磨削效率作为评价指标,通过实验建立了恒力磨削条件下砂轮全钝化周期的钝化曲线,并根据钝化速度和钝化方式将其分为三个阶段,即初期钝化阶段、稳定钝化阶段和急剧钝化阶段。其中初期钝化阶段钝化速度最慢,磨削效率最高。钝化曲线随时间的变化是由内凹到外凸的过程,与它在这个阶段的砂轮磨损过程完全不同。此外,在稳定钝化阶段散点图的基础上,采用指数函数y=abx对钝化曲线进行拟合,并通过origin的拟合结果得出回归方程,从而验证了推论的正确性。结合函数方程结果,探讨了采用钝化率k作为磨削液评价指标的方法。

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高速低粗糙度磨削中刚玉类磨料砂轮对磨削效果的影响 4.3

本文考察了五种刚玉类磨料砂轮对磨削表面粗糙度、划伤、振纹以及表面波纹度的影响,为高速低粗糙度磨削砂轮磨料的合理选择提供必要的依据。

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数控磨削过程中砂轮电机电流的实时监测 4.5

针对数控外圆磨床的运行条件,提出在监测过程中遇到的问题及解决方法,并将该方法运用到实际数控机床电机电流的实时监测中,证明了方法的可行性和价值性.

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数控曲轴磨削加工中砂轮磨损量的检测方法 4.6

提出了一种基于声发射检测技术的砂轮磨损测量及加工误差补偿系统。该系统可以测量砂轮的磨损量,并将测量结果反馈至数控系统,从而实现砂轮磨损的自动补偿。并通过试验验证了所提出方法的有效性。

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砂轮划片机主轴系统装配精度对划切槽质量的影响 4.4

分析砂轮划片机主轴系统的装配精度,使得主轴刀盘面在工作台笛卡尔坐标系中的位置精度以及在安装砂轮刀片后,划切晶圆对划切槽质量造成的影响,如何调整刀盘的精度,降低崩边和裂角,提高划切槽的质量。

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锯钢轨砂轮片 4.3

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55钢CBN砂轮平面磨削的磨削力模型研究 4.7

本文建立了基于未变形磨屑厚度的磨削力计算模型。根据55号钢的cbn砂轮平面磨削实验,首先采用随机方向搜索法对切向力模型进行优化拟合,再根据拟合的参数对法向力模型进行优化,得出了cbn砂轮与工件之间的摩擦系数和磨粒顶锥角。分析了摩擦力在磨削力中所占比重的影响因素,结果表明:当切深不变时,随着vs/vw比值的增加,磨削力以及摩擦力在磨削力中所占的比重均下降,但当磨粒间距增加时,磨削力减小,而摩擦力在磨削力中所占比重增加。

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新颖的砂纸片砂轮

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新颖的砂纸片砂轮 4.6

库伊贝舍夫斯基工学院(独联体)研制了一种砂纸片砂轮,其结构见图1。该砂轮由于能改变工作部分的几何参数,因此具有较高的工作效率。该砂轮包括带偏心凸肩的基座2,法兰盘4和压紧圆盘6,在圆盘6上安装法兰盘5。上述零件的内孔或凸肩都带有偏心量。法兰盘4的内孔与基座2凸肩的偏心量相同,而法兰盘

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磨削金刚石复合片的两种超硬砂轮的对比分析 4.8

以生产现场实测数字为依据,采用外径、孔径和厚度等参数相同,环宽不同的陶瓷和树脂两种结合剂金刚石砂轮对金刚石复合片进行磨削对比实验,进而研究这两种砂轮对磨削金刚石复合片的不同影响。实验结果表明:树脂金刚石砂轮和陶瓷金刚石砂轮在磨削金刚石复合片时性价比相差较大。实际数据显示,尽管选用的陶瓷砂轮环宽稍大于树脂砂轮,但是在磨削相同型号的金刚石复合片时,选择树脂砂轮性价比要高出陶瓷砂轮15%以上。

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Si对可锻铸铁显微组织和硬度的影响

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Si对可锻铸铁显微组织和硬度的影响 4.7

就硅含量对可锻铸铁的显微组织和硬度的影响进行了研究。实验中设计熔炼了三种不同硅含量可锻铸铁试样,在三个不同温度点,对各铸铁试样分别进行空冷、炉冷、水淬、油淬处理,进而分析得出硅含量对可锻铸铁的显微组织和硬度影响的规律。在空冷和水淬后,可锻铸铁的硬度随硅含量的增加而降低;在炉冷和油淬后,可锻铸铁的硬度随硅含量的增加而升高。

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薄片砂轮间断磨削不锈钢零件的加工工艺方法 4.4

根据不锈钢材料的特点及加工性能,结合具体零件,通过几种加工工艺方法的分析比较,提出了对薄片砂轮进行工艺处理,进而采用薄片砂轮间断磨削方法加工不锈钢零件。

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电镀金刚石砂轮磨削加工Si_pC颗粒增强铝基复合材料的研究 电镀金刚石砂轮磨削加工Si_pC颗粒增强铝基复合材料的研究 电镀金刚石砂轮磨削加工Si_pC颗粒增强铝基复合材料的研究

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电镀金刚石砂轮磨削加工Si_pC颗粒增强铝基复合材料的研究 4.4

颗粒增强铝基复合材料性能优良,在仪器仪表、航空航天等领域有着十分广泛的应用。本文提出了利用电镀金刚石砂轮在普通数控加工中心上对sipc颗粒增强铝基复合材料进行平面磨削的加工方法。通过正交实验,研究了主轴转速,进给量和磨削深度对磨削力的影响。实验结果表明:磨削深度对磨削力影响最大,其次为进给量,主轴转速对磨削力的影响很小。之后利用最小二乘法推导出了经验公式,并利用所得公式对实验数据进行了重新计算,对拟合精度进行了分析,最后对磨削表面粗糙度进行了简单实验。实验表明:磨削深度对粗糙度影响较小,主轴转速、进给量与粗糙度成正比关系,粗糙度在0.4~0.6μm之间。

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CBN砂轮高速磨削磨削力分力比实验研究 4.6

通过实验分析了cbn砂轮高速磨削磨削力分力比的变化情况,针对不同的磨削参数对磨削力分力比的影响程度进行研究.结果表明:磨削深度ap的增大、砂轮线速度vs的提高、工作台速度vw的提高都会使磨削力分力比cf增大.在砂轮状况对磨削力分力比的影响中,磨粒尺寸小的砂轮磨削力分力比更小.

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砂轮切割片的妙用 4.5

在车床上,切断和车螺纹是常见的加工方法。刀具一般用高速钢通过手工刃磨的方法使之成形,见图1。一把刀具在砂轮上需要工人花费很长时间才能完成,耗时费力,影响加工效

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高速陶瓷CBN砂轮贴片的实验研究

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高速陶瓷CBN砂轮贴片的实验研究 4.5

本文从影响高速cbn砂轮陶瓷贴片性能的因素入手,凭借扫描电镜、差热分析仪等先进精密仪器对磨料进行了常温性能、差热分析、焙烧处理(870℃)分析;同时对陶瓷结合剂配成原理、比例和性能进行了试验探讨;利用ansys软件对陶瓷砂轮贴片的尺寸大小进行了优化分析;最后,利用超高速点磨削试验台对焙烧好的砂轮贴片进行了磨削性能实验。实验表明:研发的低温高强陶瓷结合剂,该配方结合剂的耐火度890℃,抗折强度达到了60.13mpa;烧制的陶瓷贴片在小进给、小切深、超高速磨削下,表面粗糙度ra值为0.002mm左右。

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王威

职位:暖通制水工程师技术员

擅长专业:土建 安装 装饰 市政 园林

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