谐振式传感器

利用谐振元件把被测参量转换为频率信号的传感器,又称频率式传感器。当被测参量发生变化时,振动元件的固有振动频率随之改变,通过相应的测量电路,就可得到与被测参量成一定关系的电信号。70年代以来谐振式传感器在电子技术、测试技术、计算技术和半导体集成电路技术的基础上迅速发展起来。其优点是体积小、重量轻、结构紧凑、分辨率高、精度高以及便于数据传输、处理和存储等。按谐振元件的不同,谐振式传感器可分为振弦式、振筒式、振梁式、振膜式和压电谐振式等(见振弦式传感器、振筒式传感器、振梁式传感器、振膜式传感器、石英晶体谐振式传感器)。谐振式传感器主要用于测量压力,也用于测量转矩、密度、加速度和温度等。

谐振式传感器基本信息

中文名 谐振式传感器 外文名 vibrating element type transducer
类    型 传感器 领    域 物理

谐振式传感器

resonant sensor

谐振式传感器造价信息

市场价 信息价 询价
材料名称 规格/型号 市场价
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行情 品牌 单位 税率 供应商 报价日期
氨氮PH传感器 XRP6714DK 查看价格 查看价格

南京新锐鹏

13% 株洲中车机电科技有限公司
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南京新锐鹏

13% 株洲中车机电科技有限公司
氨氮PH传感器 型号:DNH1000 查看价格 查看价格

天健创新

13% 天健创新(北京)监测仪表股份有限公司
SS传感器 型号:IDT1000 查看价格 查看价格

天健创新

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COD传感器 型号:UVC1000 查看价格 查看价格

天健创新

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无磁发讯传感器 NWM-HRI(配套WS系列水表) 查看价格 查看价格

宁波

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磁发讯传感器 HRI40-125(配套WPD系列水表) 查看价格 查看价格

宁波

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材料名称 规格/型号 除税
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信息价
行情 品牌 单位 税率 地区/时间
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广东2022年1季度信息价
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广东2022年1季度信息价
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材料名称 规格/需求量 报价数 最新报价
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CO传感器 CO传感器|1个 3 查看价格 广州市熹尚科技设备有限公司 广东   2021-11-05
CO传感器 CO传感器|1个 1 查看价格 深圳创维智慧科技有限公司 广东   2021-11-03
氢气传感器 氢气传感器|4个 3 查看价格 深圳市华慧能节能科技有限公司 广东   2021-08-31
土壤传感器 土壤传感器|1台 1 查看价格 广州市智雨节水科技有限公司 全国   2020-08-17
CO传感器 CO 传感器|1个 1 查看价格 上海格瑞特科技实业有限公司 全国   2019-09-03
定位漏水传感器 1.名称:定位漏水传感器2.品牌:国产 3.型号:定制4.产地:中国5.功能参数:定位漏水传感器|2个 3 查看价格 广州康码仕信息科技有限公司 广东   2020-10-23
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谐振式传感器文献

谐振式MEMS温度传感器设计 谐振式MEMS温度传感器设计

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为了实现以频率输出为信号的气象温度测量,提出了一种基于双层悬臂梁的谐振式微温度传感器。基于双悬臂梁不同材料热膨胀系数的差异会导致悬臂梁谐振频率偏移的原理,采用压电方式同时实现悬臂梁的驱动及其谐振频率的检测,从而实现温度的测量。根据硅基传感器的正面腐蚀工艺,设计了谐振悬臂梁的双层结构,采用有限元方法分析了悬臂梁的谐振模态、可利用的振型及其温度与各模态谐振频率的关系,并利用多普勒振动系统对悬臂梁的谐振特性进行了研究。实验发现悬臂梁的二阶弯曲振型Q值相对于其它振型是最大的,其Q值约为150;高阶振型特别是二阶弯曲振型适合用于以ZnO为压电材料的温度传感器的频率检测,并且具有相对较高的灵敏度(约为20Hz/℃)和频率温度系数(1.9×10-4/℃)。结果表明,微型温度传感器能够满足气象温度检测的要求,并具有抗干扰能力强、灵敏度高、信号传输接口简单等优点。

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容栅式传感器 容栅式传感器

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容栅式传感器

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简介

利用谐振元件把被测压力转换成频率信号的压力传感器。它是谐振式传感器的重要应用方面,主要有振弦式压力传感器(见振弦式传感器)、振筒式压力传感器(见振筒式传感器)、振膜式压力传感器(见振膜式传感器)和石英晶体谐振式压力传感器(见石英晶体谐振式传感器)。

谐振式传感器具有稳定性好,精度高、与微机接口方便等特点而倍受重视。我们采用微机械加工技术研制了微谐振器和谐振式压力传感器。其特点是用单晶硅梁做谐振器、梁厚仅数微米,用静电激励。其振动频率取决于器件设计、材料性能和梁的轴向应力,并受外界压力调制。研究工作包括器件设计;激振与拾振技术;关键工艺包括硅健合,薄梁制备技术和封装技术,并对样品进行了分析测试 。研究表明,用两端固支梁理论分析微谐振梁作为一阶近似是可行的。单晶梁的工艺难度大,但工艺上仍可行。传感器固有频率稳定;一般在一百千赫以上,空气中品质因数达数百;灵敏度高,当压力电O升到O·1MPa时,频移达十几千赫,是一种有前途的新型传感器。 2100433B

金属材料和其它应用场合常使用标称频率150KHz的谐振式窄带声发射传感器,来测量工程材料的声发射信号,采用计数、幅度、上升数据、持续数据、能量这些传统的声发射参数。窄带谐振式声发射传感器灵敏度较高并且有很高的信噪比,价格便宜,规格多,如在知晓声源传播基本特性、想获取某一频带范围的AE信号来进行处理或想提高系统灵敏度,选择合适型号的谐振式声发射传感器比较好,如声源定位。应当指出所谓谐振式窄带声发射传感器并不是只对某频率信号敏感,而是对某频率带信号敏感,其它频率带信号灵敏度较低。

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