螈气体质量流量计控制器知识 芅气体质量流量控制器（ MFC）与气体质量流量计（ MFM），MFC是带有控制气体质量流量的装置，而 MFM是不具 有控制气体质量流量功能的装置。 膁首先区分一下 芈 MFC为 MassFlowController 的缩写， 即质量流量控制。 流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力， 它是科 里奥利在 1832 年研究水轮机时发现的，简称科氏力。质量流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的 T型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周 期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装 在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号， 这两个信号差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。 计 算机解算出流经振管的质量流量。不同的介质流经传感器时，振管的主振频
螈气体质量流量计控制器知识 芅气体质量流量控制器（ MFC）与气体质量流量计（ MFM），MFC是带有控制气体质量流量的装置，而 MFM是不具 有控制气体质量流量功能的装置。 膁首先区分一下 芈 MFC为 MassFlowController 的缩写， 即质量流量控制。 流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力， 它是科 里奥利在 1832 年研究水轮机时发现的，简称科氏力。质量流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的 T型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周 期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装 在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号， 这两个信号差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。 计 算机解算出流经振管的质量流量。不同的介质流经传感器时，振管的主振频
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