PD380B管式 PECVD 1 蝶阀与挡板阀的拆装 图一 PE主机台 1.炉管降温 在工控机操作界面中，将炉管温度由原来的 450°设置为 200°。 2.真空泵的吹扫 2.1抽真空；将反应压力设为 0，关掉 N2输入，打开预抽，当压力小 于 500时，关掉预抽，打开主抽，直到管内为真空状态（压力小于 40mtorr）； 2.2设置 N2输入为 8000，反应压力为 1700mtorr； 2.3将真空泵的 N2稀释阀调到最大约 84.4pam3/S；吹扫至少进行 20min。 真空泵 真空管路 PD380B管式 PECVD 2 图二 真空泵 3.关真空泵 3.1点操作面板的 stop，选择关闭真空泵（并非延时关闭） ； 3.2拉下真空泵的黑色电源开关，并且将真空泵的冷却水关掉，保持 真空泵的 N2为打开状态。 4.工具的准备 一套开口扳手（主要使用 7mm、12mm、13mm、1
圆形挡板门 使 用 说 明 书 圆形挡板门； 也叫通风蝶阀 . 风门 . 分别有； .多叶 . 整体 相关系列；方形通风蝶阀 用途适用于工业、 冶金、环保等管道作通风调节介质流量 之用 圆形挡板门 采用与阀体相同材料加工成密封圈， 采用电动或气动传动。 其适用温度全选材料而定， 公称压力 ≤0．6MPa ， 一般适用于工业、 冶金、环保等管道作通风调节介质流量之用。 通风蝶阀主要技术参数 公称压力 0.05MPa 介质温度 -30℃～ 350℃ 强度试验 0.1MPa 适用介质 冷热风，烟气 介质流速 25m/s 泄漏率 3％ 圆形挡板门 主要零件材料 零件名称 材料 阀体 Q235A,16 猛钢、不锈钢 蝶板 Q235A 、16 猛钢、不锈钢 密封圈 Q235A 、16 猛钢、不锈钢 阀杆 2Cr13 、不锈钢 填料 柔性石墨 主要连接尺寸 公称通径 DN(mm) L H Ho 0
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