H2SO4/H2O2/H2O、HNO3/HF和HF/H2O2/H2O为半导体芯片生产过程中三种去除硅片背面铜污染的化学清洗液。在单片湿法清洗机上采用这三种化学液对直径300 mm具有类似于实际生产中铜污染的硅片进行了清洗,结果发现H2SO4/H2O2/H2O在清洗过程中不对硅片表面的Si3N4膜产生损伤,但铜污染的去除效率较低;HNO3/HF和HF/H2O2/H2O对Si3N4膜产生微量刻蚀,从而去除扩散至硅片内部铜污染,从而显示出较佳的去除效果。通过比较HF/H2O2/H2O中HF体积分数与Si3N4膜刻蚀深度和清洗后铜原子浓度,HF的体积分数为1.5%时,可以使硅片表面铜原子浓度降至1010cm-2以下,并且Si3N4膜厚的损失小于1 nm。
通过盆栽试验研究了剑麻与石灰对铜污染土壤的修复,以海南砖红壤为供试土壤,在未污染土壤中加入重金属Cu,设高、中、低三个污染水平,平衡两周后在重金属污染土壤上施入不同浓度的石灰,而后植入对Cu有较大耐性的植物剑麻。120d后收获分析。研究了不同Cu污染水平和石灰处理水平下剑麻植株的长势及剑麻体内重金属含量,结果如下:Cu轻度污染土壤剑麻生长受影响不大,Cu中度污染土壤剑麻可以生长,当浓度达到2000mg/kg时剑麻受毒害死亡。加入石灰后剑麻的生物学产量有明显提高,Cu轻度污染土壤上石灰最佳施入量为3375kg/hm2,该条件下其剑麻移走的Cu量明显高于单种植剑麻的移走量,Cu中度污染土壤其最佳用量为4500kg/hm2,该组合下从土壤中移走的Cu几乎是单种植剑麻的两倍,在Cu重度污染的土壤中,随着石灰用量增加可促进剑麻的生长。
热门知识
铜污染-
话题： 工程造价zhuxingjing
精华知识
铜污染-
话题： 给排水zhangleizlxx
最新知识
铜污染-
话题： 园林景观zhufei2009
-
话题： 工程造价beethovenzl
铜污染相关专题
- 铠装铜芯电力电缆及载流量
- 可以焊铜铝的焊条叫什么
- 快速排污阀的介绍
- 快速排污阀多少钱
- 快速排污阀哪家好
- 快速排污阀的零附件名称
- 昆明马街电缆厂铜心线价格
- 炼铜炉耐火砖含镁是多少
- 辽宁铜端子套哪个定额
- 磷铜废品最新价格
- 引滦水源保护于桥水库综合治理污染底泥清除工程项目
- 新的无线水污染超声波明渠水量检测仪的设计方法
- 原子吸收光谱法测定防腐木材中铜含量的不确定度评定
- 宜兴市招投标中心政府采购招标文件(丝口铜闸阀等)
- 中国紫铜扁线行业市场前景分析预测年度报告(目录)
- 有关西部县区的工业化进程带来的环境污染和治理问题
- 功率参数对超音速等离子制备高铝铜合金涂层组织影响
- 工业废渣基建材氡放射性污染及防护现状与展望
- 基于PDM与ERP铜排设计、生产数字信息化管理
- 巨型青铜艺术工程成吉思汗雕塑群放样、造型与内加固
- 广州市装修居室室内空气污染状况及其对人群健康影响
- 克拉玛依炼油厂达标排放废水库中重金属污染监测与评价
- 扩大巴基斯坦山大克铜金工程选矿厂生产能力改造实践
- 利用含钴、镍氢化硅酸盐提高橡胶镀铜钢丝粘合作用
- 基于模糊数学太原市敦化灌区污灌土壤重金属污染评价
- 建设项目竣工环境保护验收固体废物污染防治设施等主体
- 磨房汕尾铜鼎山双登暨户外嘉年华免责声明书