用激光干涉仪系统进行精确的线性测量 — 最佳操作及实践经验 1 简介 本文描述的最佳操作步骤及实践经验主要针对使用激光干涉仪校准机床如车床、铣床以及 坐标测量机的线性精度。但是，文中描述的一般原则适用于所有情况。与激光测量方法相 关的其它项目，如角度、平面度、直线度和平行度测量不包括在内，用于实现 0.1 微米即 0.1 ppm 以下的短距离精度测量的特殊方法（如真空操作）也不包括在内。 微米是极小的距离测量单位。（ 1 微米比一根头发的 1/25 还细。由于太细，所以肉眼无 法看到，接近于传统光学显微镜的极限值）。可实现微米级及更高分辨率的数显表的广泛 使用，为用户提供了令人满意的测量精度。尽管测量值在小数点后有很多位数，但并不表 明都很精确。（在许多情况下精度比显示的分辨率低 10-100 倍）。实现 1 微米的测量分 辨率很容易，但要得到 1 微米的测量精度需要特别注意一些细节。本文
激光测距仪 激光测距仪是利用 激光 对目标的距离进行准确测定的仪器。 激光测距仪在工作时向目 标射出一束很细的激光，由光电元件接收目标反射的激光束，计时器测定激光束从发 射到接收的时间，计算出从观测者到目标的距离。 若激光是连续发射的，测程可达 40 公里左右，并可昼夜进行作业。若激光是脉 冲发射的，一般绝对精度较低，但用于远距离测量，可以达到很好的相对精度。 世界上第一台激光器，是由美国休斯飞机公司的科学家梅曼于 1960 年，首先研 制成功的。美国军方很快就在此基础上开展了对军用激光装置的研究。 1961 年，第 一台军用激光 测距仪通过了美国军方论证试验，对此后激光测距仪很快就进入了实 用联合体。 激光测距仪重量轻、体积小、操作简单速度快而准确，其误差仅为其它光学测距 仪的五分之一到数百分之一，因而被广泛用于地形测量，战场测量， 坦克 ，飞机，舰 艇和火炮对目标的测距，测量云层、飞机
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