高纯气体管道施工工法 中国电子系统工程第四建设有限公司 1 高纯气体管道施工工法 一、前言 随着我国半导体、制芯业的发展，高纯气体管道的应用也越来越广泛， 象半导体、电子、医药、食品等行业都不同程度的使用了高纯气体管道， 因此高纯气体管道的施工对于我们来说也越来越重要。 1999年，我公司引进了美国生产的全自动轨道焊机及其相关的配管安 装设备，这套设备自动化程度高，焊接过程实现了全自动控制，设备性能 稳定，质量好且外形美观、体积小、重量轻、操作方便，非常适合电子厂 房的洁净施工。几年来通过我们的研究与实践，通过向国外专家请教，向 外单位同行学习，形成了这套施工工艺，在吉林华星 5寸芯片生产线、杭 州立昂电子有限公司 6寸芯片生产线、江苏吴江阿尔发光导纤维生产线的 施工中应用了本工法，效果不错。 二、适用范围 本工艺主要适用于电子、半导体厂房的气体管道安装、测试，焊接薄 壁不锈钢气体管道，
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