铜线球焊 一、 铜线球焊的优点 1、价格优势:引线键合中使用的各种规格的铜丝,其成本只有金丝的 1/3-1/10。 2、电学性能和热学性能:铜的电导率为 0.62(μΩ /cm)-1,比金的电导率 [0.42(μΩ /cm)- 1]大,同时铜的热导率也高于金,因此在直径相同的条件下铜丝可以承载更大电流。 3、机械性能:铜引线相对金引线的高刚度使得其更适合细小引线键合。 二、 铜线球焊的缺点 (1)铜容易被氧化,键合工艺不稳定 (2)铜的硬度、屈服强度等物理参数高于金和铝。键合时需要施加更大的超声能量和键合压 力,因此容易对硅芯片造成损伤甚至是破坏。 三、 铜线球焊的流程 1、设备方面: (1)采用保护气体对铜线进行保护 (含 3~5%氢氮混合气体),防止铜线球焊时氧化 (见图一)。 图一 氢氮混合保护气体吹气口 (2)打开氢氮混合气,流量控制在 7-8 L/min(见图二)。 氢氮保护气体
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