为了在牺牲层工艺中保护金属电极不被腐蚀,提出了一种利用铝层保护金属电极的方法。在试验中采用了两种铝保护层厚度300 nm和1μm,在两种腐蚀液体4NH4F∶1HF∶2甘油和1HAC∶1NH4F中进行了试验,通过试验表明,铝金属层在两种腐蚀液体中都能够有效保护金属电极,延长牺牲层的腐蚀时间。最后,通过SOI微加速度计加工工艺进一步验证了该方法的有效性。
本实用新型属玻璃制品和其他无机材料的高温电熔技术领域，具体涉及一种直冷改进型玻璃电熔钼电极保护水套。保护水套绕于钼电极之外，保护水套由套体、顶端板、直冷腔挡水板、存水腔、直冷腔、进水管组成，存水腔和直冷腔分别位于套体内，存水腔呈圆环形结构，其一端固定于顶端板，另一端通过挡水板与直冷腔相连，存水腔上部设有漫水口，
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