更新日期: 2024-04-28

RF-MBE生长AlN/GaN超晶格结构二维电子气材料

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RF-MBE生长AlN/GaN超晶格结构二维电子气材料 4.7

用射频等离子体辅助分子束外延技术 ( RF- MBE)在 c面蓝宝石衬底上外延了高质量的 Ga N膜以及 Al N/Ga N超晶格结构极化感应二维电子气材料 .所获得的掺 Si的 Ga N膜室温电子浓度为 2 .2× 10 1 8cm- 3,相应的电子迁移率为 2 2 1cm2 /( V· s) ;1μm厚的 Ga N外延膜的 ( 0 0 0 2 ) X射线衍射摇摆曲线半高宽 ( FWHM)为 7′;极化感应产生的二维电子气室温电子迁移率达到 10 86cm2 /( V· s) ,相应的二维电子气面密度为 7.5× 10 1 2 cm- 2 .

高质量二维电子气材料研制及其器件应用 高质量二维电子气材料研制及其器件应用 高质量二维电子气材料研制及其器件应用

高质量二维电子气材料研制及其器件应用

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高迁移率gaas/aigaas二维电子气(2deg)结构材料在基础物理研究和新型器件及电路的应用方面有十分重要的意义。低温电子迁移率μ超过10~6cm~2/v·s的2deg材料可用于研究分数量子霍尔效应。高迁移率和高载流子面密度的2deg材料可用于研制高电子迁移率晶体管(hemt)、超高速数字集成电路(vhsic)和微波毫米波单片集成电路(mimic)等超高频、超高速微电子器件和电路,它们被广泛应用在雷达、制导、电子对抗、光纤通讯和数字微波通讯等领域。

NH_3-MBE生长极化场二维电子气材料 NH_3-MBE生长极化场二维电子气材料 NH_3-MBE生长极化场二维电子气材料

NH_3-MBE生长极化场二维电子气材料

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介绍了用nh3mbe技术在蓝宝石c面上外延的高质量的gan单层膜以及ganalngan极化感应二维电子气材料。外延膜都是n面材料。形成的二维电子气是“倒置二维电子气”。gan单层膜的室温电子迁移率为300cm2vs。二维电子气材料的迁移率为680cm2vs(rt)和1700cm2vs(77k),相应的二维电子气的面密度为3.2×1013cm-2(rt)和2.6x1013cm-2(77k).

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RF—MBE生长AlGaN/GaN极化感应二维电子气材料

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RF—MBE生长AlGaN/GaN极化感应二维电子气材料 4.7

用射频等离子体辅助分子束外延技术(rf-mbe)在c面蓝宝石衬底上外延了高质量的gan膜以及algan/gan极化感应二维电子气材料,所外延的gan膜室温背景电子浓度为2×10^17cm^-3,相应的电子迁移率为177cm^2/(v·s);gan(0002)x射线衍射摇摆曲线半高宽(fwhm)为6′;algan/gan极化感应二维电子气材料的室温电子迁移率为730cm^2/(v·s),相应的电子气面密度为7.6×10^12cm^-2;用此二维电子气材料制作的异质结肠效应晶体管(hfet)室温跨导达50ms/mm(栅长1μm),截止频率达13ghz(栅长0.5μm)。

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基于蓝宝石衬底的高性能AlGaN/GaN二维电子气材料与HEMT器件 基于蓝宝石衬底的高性能AlGaN/GaN二维电子气材料与HEMT器件 基于蓝宝石衬底的高性能AlGaN/GaN二维电子气材料与HEMT器件

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基于蓝宝石衬底的高性能AlGaN/GaN二维电子气材料与HEMT器件 4.3

利用低压mocvd技术在蓝宝石衬底上生长了高性能的algan/gan二维电子气(2deg)材料,室温和77k温度下的电子迁移率分别为946和2578cm2/(v·s),室温和77k温度下2deg面密度分别为1.3×1013和1.27×1013cm-2.并利用algan/gan二维电子气材料制造出了高性能的hemt器件,栅长为1μm,源漏间距为4μm,最大电流密度为485ma/mm(vg=1v),最大非本征跨导为170ms/mm(vg=0v),截止频率和最高振荡频率分别为6.7和24ghz

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1、请问上色区域的面积是多少? 提示:测量区域面积方法有两种:第一,将区域制作成面域,然后选择工具→查询→面 域/质量特性。第二,将区域填充剖面线,然后选择工具→查询→面积 abcde 9250363918 2、请问图中上色部分的面积是多少? abcd 221321515 3、请问图形中上色区域的面积是多少? abcd 108422514 4、请问图形上色区域的面积是多少? abcd 130503015 5、请问图形绿色区域的面积是多少? abcd 52329815 6、请问图中上色部分的面积是多少? abcd 10080550 7、请问图中绿色区域的面积是多少? abcd 1891452996 8、参照下图绘制三视图,注意符合立体参考图的形态。 请问: 1、左视图(右上方的

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光子晶体是一种介电常数周期性排列的人工介质,它对光具有可操纵性。将非线性材料运用到二维光子晶体中,即在普通二维光子晶体波导中引入非线性缺陷,通过控制输入光功率的大小,得到了不同情况下光波在波导中的传输情况,实现了"开""关"作用,实验结果表明,开关时间极短,大致在1013—~1014数量级。

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夏福全

职位:硬景施工员

擅长专业:土建 安装 装饰 市政 园林

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