微声传感器

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“微声传感器”是天文学专有名词。来自中国天文学名词审定委员会审定发布的天文学专有名词中文译名，词条译名和中英文解释数据版权由天文学名词委所有。

分类

微传感器的分类：

• 根据是否有能源供应，可以分为有源微传感器（例如：压电）和无源微传感器（例如：荧光）

• 根据微传感器所能测量的对象不同，还可以分为如下九类：

• 机械微传感器：用于力、形变、位移和速度等测量的微传感器。

• 电学微传感器：用于电流、电位、电阻和电容等测量的微传感器。

• 磁学微传感器：用于磁场大小、磁场极性、磁通和磁导率等测量的微传感器。

• 热学微传感器：用于温度、比热容、热导率和热容量等测量的微传感器。

• 声学微传感器：用于波幅、相位、偏振和声谱等测量的微传感器。

• 光学微传感器：用于光谱、波速、波幅和相位等测量的微传感器。

• 辐射微传感器：用于X射线、紫外线、微波和无线电波等测量的微传感器。

• 化学微传感器：用于成分、浓度、湿度和PH值等测量的微传感器。

• 生物微传感器：用于荷尔蒙、抗原、醣和生物量等测量的微传感器。

声传感器是指半无限大材料表面传播的表面声波,或压电薄板材料中的波等,由于受边界上力学、电学等边界条件的影响，传播特性也会发生改变，测出这些特性(主要是声速)的改变,即可检测出边界上力学参数例如微质量、应力、黏滞、温度等和电学参数(如介电常数)等的改变,这就是声传感器。

声传感器是指半无限大材料表面传播的表面声波,或压电薄板材料中的波等,由于受边界上力学、电学等边界条件的影响，传播特性也会发生改变，测出这些特性(主要是声速)的改变,即可检测出边界上力学参数例如微质量、应力、黏滞、温度等和电学参数(如介电常数)等的改变,这就是声传感器。它结合平面集成工艺制成的声传感器具有体积小、灵敏度高、造价低等优点，因而在物理、化学、环境监测、生化过程等的在线实时检测中具有

很好的应用前景。

本书全面介绍微声电子器件的种类、工作原理及应用。全书共分6章，第1章声体波器件(声体波换能器和谐振器，声体波微波延迟线，薄膜声体波谐振器和滤波器等)；第2章声表面波器件(又指换能器，声表面波谐振器/滤波器/信号处理器/传感器等)；第3章声光器件(声光偏转器/调制器/Q开关/锁模器/移频器/可调滤光器，表面波声光器件，光纤声光器件，声光相关/卷积器等)；第4章压电陶瓷器件(压电陶瓷滤波器/微位移器/换能器/传感器等)；第5章振动惯性器件(振动陀螺，线加速度计，微机械振动惯性器件等)；第6章微声电子器件在电子系统中的应用。

读者对象:具有中专以上文化程度的电子工程技术人员、管理干部、电子技术爱好者以及大专院校相关专业师生。