刻蚀均匀性≤5%,金属刻蚀对氧化物及硅选择比≥3。

感应耦合等离子体刻蚀机造价信息

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等离子体静电空气净化装置 VBK-Z-3000 490×760×210 查看价格 查看价格

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等离子体静电空气净化装置 VBK-Z-4500 980×566×210 查看价格 查看价格

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等离子体静电空气净化装置 VBK-Z-6000 980×760×210 查看价格 查看价格

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等离子体静电空气净化装置 VBK-Z-9000 980×1140×210 查看价格 查看价格

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材料名称 规格/型号 除税
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材料名称 规格/需求量 报价数 最新报价
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电感耦合等离子体质谱仪 参数配置详见附件|1台 1 查看价格 青岛聚创环保集团有限公司 全国   2020-09-21
经济技术指标 40层|04.2m层高 1 查看价格 0 广东  佛山市 2009-05-12
等离子体净化装置 1.型号:VBK-HD-13B2.规格:风量=1360/h|3台 3 查看价格 北京赛多科贸有限公司 广西  贺州市 2021-09-29
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电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS) 1000G|1台 1 查看价格 上海硅仪生化科技有限公司 全国   2020-08-04
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光氢等离子体空气净化消毒 (1)名称:光氢等离子体空气净化消毒UVP-20-50(2)规格:风量:8000-14000m3/h功率:20W/220V|5台 1 查看价格 广东惠恩建筑科技有限公司 全国   2021-05-08

等离子刻蚀,是干法刻蚀中最常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲,等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应,反应的挥发性副产物被真空泵抽走。

感应耦合等离子体刻蚀机技术指标常见问题

  • 低温等离子体的技术开发

    国内外企业利用低温等离子体技术在环保方面开发出了“低温等离子体有机废气净化设备”、“低温等离子体废水净化设备”及“低温等离子体汽车尾气净化技术”。1、低温等离子体在保鲜、杀菌、除臭等方面产品开发,目前...

  • 低温等离子体技术是什么?

    低温等离子体物理与技术经历了一个由60年代初的空间等离子体研究向80年代和90年代以材料为导向研究领域的大转变,高速发展的微电子科学、环境科学、能源与材料科学等,为低温等离子体科学发展带来了新的机遇和...

  • 什么是等离子体膜

    等离子体聚合物在结构上与普通的聚合物显著不同,它能形成含有活性基团的高度交联的网络结构,从而具有良好的均匀性及对基质的附着性[1,2].有关采用等离子体聚合膜的TSM传感器的报道不多[3,4],本室已...

感应耦合等离子体刻蚀机技术指标文献

等离子体刻蚀过程中有害气体净化的原理和方法 等离子体刻蚀过程中有害气体净化的原理和方法

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等离子体刻蚀过程中有害气体净化的原理和方法——叙述了等离子体刻蚀过程中产生的有害气体以及处理这些有害气体的原理和方法。对燃烧分解、化学中和、 薄膜吸气、等离子体净化及脉冲电晕放电等作了简要的概述。指出等离子体净化和脉冲电晕放电是净化有害气体的...

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电感耦合等离子体-质谱法测定食品中的总铬 电感耦合等离子体-质谱法测定食品中的总铬

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食品样品使用微波消解处理后,选用质量数相近的钪(Sc)作为内标,使用电感耦合等离子体-质谱仪测定总铬含量。在0—150μg/L范围内,仪器响应值与总铬含量呈线性关系,线性方程为I=0.0429C,相关系数r=0.9998,检出限为0.022mg/kg,相对标准偏差(n=6)为4.58%,加标回收率在97.6%—104%之间。

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谐振感应耦合概述

该过程发生在谐振变压器中,该谐振变压器是由缠绕在相同铁芯上的高Q线圈组成的电气部件,电容器连接在线圈两端以形成耦合LC电路。

最基本的谐振电感耦合由初级侧的一个驱动线圈和次级侧的一个谐振电路组成。在这种情况下,当从初级侧观察次级侧的谐振状态时,观察到两对共振。其中之一就是所谓的反谐振频率(并联谐振频率1),以及另一种是所谓的谐振频率(串联谐振频率1' )。所述的短路电感和次级线圈的谐振电容器被组合成的谐振电路。当初级线圈以次级侧的谐振频率(串联谐振频率)驱动时,初级线圈和次级线圈的磁场的相位被同步。其结果,在二次线圈中产生由于互感磁通的增加,并且所述初级线圈的铜损降低的最大电压,发热减少,效率相对提高。所述的谐振感应耦合是近场电能的无线传输磁耦合的线圈之间,这是一个的一部分谐振电路调谐到谐振以相同的频率作为驱动频率。

谐振感应耦合共振态的耦合系数

在变压器中,只有部分通过初级线圈的电流产生的磁通耦合到次级线圈,反之亦然。耦合的部分称为相互通量,不相耦合的部分称为漏磁通。当系统不处于共振状态,这将导致出现在次级小于由线圈的匝数比预测开路电压。耦合程度由称为耦合系数的参数捕获。耦合系数k被定义为变压器开路电压比与从一个线圈耦合到另一个线圈的所有磁通量所得到的比率之比。k的值介于0和±1之间。每个线圈电感可以概念上以比例k和(1-k)分成两部分。这些分别是产生相互磁通的电感和产生漏磁通的电感。

耦合系数是系统几何结构的函数。它由两个线圈之间的位置关系固定。在系统处于共振状态和不处于共振状态时,或者即使系统处于共振状态并且产生大于匝数比的次级电压时,耦合系数也不会改变。

据说谐振系统是紧耦合的,松耦合的,临界耦合的或过耦合的。如传统铁芯变压器一样,紧耦合是耦合系数大约为1时。过耦合是次级线圈如此接近并且互通量的形成受到反共振的影响而受到阻碍,并且当通带中的转移是最佳时临界耦合是。松散耦合是指线圈彼此远离时,大部分通量都会漏过辅助线圈。在特斯拉线圈中使用0.2左右,并且在更远的距离上,例如感应无线电力传输,它可能低于0.01。2100433B

离子体刻蚀。

1. 极限真空: 刻蚀室9.0×10-5 Pa (室内湿度≤55%) 进样取样室6.0×10-1 Pa。2. 刻蚀材料: 主要GaN、Sapphire材料,其它Poly-Si、Si、SiO2、Si3N4等。3. 刻蚀速率: 0.01~ 2μ/min(据不同材料与工艺而定)。4. 刻蚀均匀性: ≤±5%(φ150mm范围内)。5. 电极尺寸: φ200mm。

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