高效晶体硅太阳能电池技术

第1章绪论 1

1.1　引言　/ 2

1.2　晶体硅太阳能电池的理论基础　/ 6

1.2.1　工作原理　/ 6

1.2.2　参数的测量及计算　/ 12

1.3　晶体硅太阳能电池效率损失机制　/ 15

1.3.1　光学损失　/ 16

1.3.2　电学损失　/ 17

1.4 　界面钝化结构　/ 20

1.5　晶体硅太阳能电池的关键工艺进展　/ 24

1.5.1　抛光去损伤工艺　/ 24

1.5.2　制绒工艺　/ 25

1.5.3　扩散工艺　/ 27

1.5.4　钝化技术　/ 28

1.5.5　介质膜开膜工艺　/ 31

1.5.6　金属化工艺　/ 32

参考文献　/ 33

第2章p型钝化发射极及背面接触（PERC）太阳能电池技术 40

2.1　PERC太阳能电池的发展历程　/ 41

2.2　p型PERC太阳能电池制造关键工艺　/ 43

2.2.1　选择性发射极的制备　/ 43

2.2.2　背面钝化膜的结构与制备　/ 49

2.2.3　背面局域金属接触技术　/ 53

2.3　化学返刻调控选择性发射极掺杂浓度分布研究　/ 55

2.4　背面反射及叠层钝化层研究　/ 68

2.4.1　背面反射结构研究　/ 68

2.4.2　背面叠层钝化膜的研究　/ 73

2.5　背面局域接触图形研究　/ 77

2.6　背面局部硼激光掺杂研究　/ 86

2.7　p型多晶PERC太阳能电池技术　/ 93

2.8　p型PERC双面太阳能电池技术　/ 100

2.9　p型PERC太阳能电池技术的发展展望　/ 105

参考文献　/ 105

第3章n型钝化发射极背面局部扩散（PERL）和钝化发射极背面整面扩散（PERT）结构太阳能电池技术 111

3.1　n型PERL和PERT结构太阳能电池技术的发展历程　/ 112

3.2　PERT结构n型太阳能电池器件模拟及结构设计　/ 118

3.2.1　前表面绒面形貌的影响和减反膜系的设计　/ 118

3.2.2　太阳能电池复合模型研究　/ 121

3.2.3　n型太阳能电池电阻分析模型研究　/ 123

3.3　PERT结构n型太阳能电池工艺研究　/ 129

3.3.1　绒面制备技术研究　/ 129

3.3.2　关键金属化工艺研究　/ 138

3.3.3　p型及n型掺杂研究　/ 140

3.4　太阳能电池制备及性能分析　/ 143

3.4.1　太阳能电池制备与性能　/ 143

3.4.2　太阳能电池复合损失分析　/ 145

3.4.3　太阳能电池串联电阻损失分析　/ 146

3.4.4　太阳能电池光学损失分析　/ 147

3.5　n型PERL和PERT结构太阳能电池技术的发展展望　/ 150

参考文献　/ 151

第4章硅基异质结（SHJ）太阳能电池技术 154

4.1　SHJ太阳能电池技术的发展历程　/ 155

4.2　SHJ太阳能电池原理与结构　/ 156

4.2.1　太阳能电池结构基础　/ 156

4.2.2　半导体异质结基础　/ 158

4.2.3　SHJ太阳能电池结构与原理　/ 161

4.2.4　SHJ太阳能电池中载流子输运机制　/ 165

4.2.5　SHJ太阳能电池特点　/ 167

4.3　SHJ太阳能电池制造工艺与关键技术　/ 169

4.3.1　湿化学处理　/ 169

4.3.2　非晶硅沉积　/ 170

4.3.3 　透明导电薄膜沉积　/ 171

4.3.4　电极沉积　/ 172

4.4　SHJ太阳能电池性能分析　/ 173

4.4.1　载流子寿命　/ 173

4.4.2　短路电流　/ 174

4.4.3　开路电压　/ 175

4.4.4　填充因子　/ 175

4.5　SHJ太阳能电池技术的发展展望　/ 177

参考文献　/ 177

第5章n型隧穿氧化层钝化接触（TOPCon）太阳能电池技术 181

5.1　钝化接触太阳能电池技术的发展历程　/ 182

5.2　隧穿氧化层的影响　/ 185

5.2.1　SiO2层对钝化及磷扩散过程的影响　/ 187

5.2.2　SiO2层对接触电阻率的影响　/ 192

5.3　多晶硅薄膜层的影响　/ 193

5.3.1　多晶硅薄膜的制备研究　/ 193

5.3.2　多晶硅薄膜层厚度对钝化的影响　/ 195

5.3.3　多晶硅薄膜的掺杂对钝化接触结构的影响　/ 197

5.4　钝化接触结构光学特性　/ 201

5.5　n型钝化接触太阳能电池制备及性能研究　/ 205

5.5.1　太阳能电池的制备　/ 205

5.5.2　太阳能电池电性能分布与数据分析　/ 214

5.5.3　太阳能电池FCA分析　/ 215

5.5.4　太阳能电池复合电流分析　/ 216

5.5.5　太阳能电池的衰减测试　/ 217

5.6　n型钝化接触太阳能电池技术的发展展望　/ 219

参考文献　/ 222

第6章背结背接触（IBC）太阳能电池技术 226

6.1　IBC太阳能电池的发展历程　/ 228

6.2　IBC太阳能电池的结构特征　/ 233

6.3　IBC太阳能电池制造的关键工艺技术　/ 234

6.3.1　前表面陷光和钝化技术　/ 235

6.3.2　背表面掺杂技术　/ 237

6.3.3　金属化接触和栅线技术　/ 239

6.4　IBC太阳能电池技术的发展展望　/ 240

参考文献　/ 240

《高效晶体硅太阳能电池技术》介绍了几种典型高效晶体硅太阳能电池的结构、关键制造技术及发展趋势，重点分析了电池效率损失因素，以及提高电池转换效率的技术途径。本书共分为6章，第1章绪论，介绍了晶体硅太阳能电池的理论基础、电池效率损失机制以及晶体硅太阳能电池的关键工艺进展。第2章p型钝化发射极及背面接触（PERC）太阳能电池技术，介绍了PERC太阳能电池发展历史，重点分析了p型PERC太阳能电池制造关键工艺对电池性能的影响，对化学返刻调控选择性发射极掺杂浓度分布和背面反射及叠层钝化层的制备与调控进行了详尽分析。第3章n型钝化发射极背面局部扩散（PERL）和钝化发射极背面整面扩散（PERT）结构太阳能电池技术，介绍了n型PERL和PERT结构太阳能电池发展现状，进行了PERT结构n型太阳能电池器件模拟及结构设计，重点分析了n型太阳能电池复合模型和电池电阻分析模型，对PERT结构n型电池工艺开展了详细的研究，包括绒面制备技术、关键金属化工艺、p型及n型掺杂等，最后对电池的制备和性能进行了详细的分析讨论。第4章硅基异质结（SHJ）太阳能电池技术，介绍了非晶硅/晶体硅异质结（SHJ）技术发展历程、原理与结构及SHJ太阳能电池的制造工艺与关键技术，对SHJ太阳能电池发展进行了展望。第5章n型隧穿氧化层钝化接触（TOPCon）太阳能电池技术，介绍了TOPCon太阳能电池技术的发展历程，详细分析了隧穿氧化层和多晶硅薄膜层对电池性能的影响。第6章背结背接触（IBC）太阳能电池技术，介绍了IBC太阳能电池的结构特征和IBC太阳能电池制造的关键工艺技术，介绍了IBC太阳能电池技术的发展展望。

本书可供光伏行业的科研人员和工艺人员参考学习，也可供各高等院校相关专业师生参考学习。

《新型高效数控磨齿机》涉及蜗杆磨齿技术领域，具体涉及一种新型高效数控磨齿机。