电阻加热炉

低压化学气相沉积系统，最大可放4寸硅片。 2100433B 解读词条背后的知识 电子工程师小李 电子工程师，资源共享，技术交流

双功能三相电阻加热炉控制电路的工作原理

双功能三相电阻加热炉控制电路由主电路和控制电路所组成。主电路包括三相交流电源开关QF、双向晶闸管VS1～VS3及其触发电路、交流接触器KM的主触点以及三相电阻器加热器EH1～EH3等。控制电路包括选择开关SA、双向晶闸管VS4及其触发电路、中间继电器K1、双向晶闸管触发控制...

炉管直径4英寸，工作温度200-1000度，低压控制范围0-2Torr。

碳硅棒电阻加热炉结构简单，热效率高，成本低，寿命长，可用于化工生产或其它地方。

电阻加热炉，包括炉体、发热元件、接线柱，其中发热元件由悬挂在炉体上的耐热绝缘骨架和缠绕在其外圆柱表面螺旋形沟槽内的自身绕制成螺旋形的裸电阻丝组成。

普通电阻加热炉，一般有炉体和电气控制设备两部分。其主要的安全问题是：①导线与电阻体要可靠连接。如连接不好会造成接触电阻过大，接点过热，使接触面氧化，甚至产生电弧引起火灾。②电阻加热炉的炉衬应有良好的隔热性能，电炉外壁温升一般不应超过60摄氏度；高温炉不超过90摄氏度。在炉子附近不得存放可燃物。③电阻加热炉应设温度控制装置和报警装置（达异常温升时报警）。电气设备应经常维修保养；炉口处导线应用不燃材料的护套保护（一般采用瓷管）。电阻加热炉应设单独的电源开关和熔断器保护。该炉子不应设置在低于一、二级耐火等级的建筑物内。

按传热方式，电阻炉分为辐射式电阻炉和对流式电阻炉。辐射式电阻炉以辐射传热为主，对流传热作用较小；对流式电阻炉以对流传热为主，通常称为空气循环电阻炉，靠热空气进行加热，炉温多低于650℃。

电阻炉可以把物料加热到很高的温度，例如碳素材料石墨化电炉，能把物料加热到超过2500□。直接加热电阻炉可作成真空电阻加热炉或通保护气体电阻加热炉，在粉末冶金中，常用于烧结钨、钽、铌等制品。

辐射加热器，其特征是：沿辐射加热器轴向间隔设置法兰和多个多孔挂丝砖，多根串联的电阻丝穿过多个多孔挂丝砖后接穿过法兰的引出线；多孔挂丝砖固定在与法兰连接的、沿加热器轴向延伸的芯棒上。