多晶硅工艺流程简述 （改良西门子法及氢化） 氢气制备与净化工序 在电解槽内经电解脱盐水制得氢气。电解制得的氢气经过冷 却、分离液体后，进入除氧器，在催化剂的作用下，氢气中的微量氧 气与氢气反应生成水而被除去。 除氧后的氢气通过一组吸附干燥器而 被干燥。净化干燥后的氢气送入氢气贮罐，然后送往氯化氢合成、三 氯氢硅氢还原、四氯化硅氢化工序。 电解制得的氧气经冷却、分离液体后，送入氧气贮罐。出氧气 贮罐的氧气送去装瓶。 气液分离器排放废吸附剂、 氢气脱氧器有废脱氧催化剂排放、 干 燥器有废吸附剂排放，均供货商回收再利用。 氯化氢合成工序 从氢气制备与净化工序来的氢气和从合成气干法分离工序返 回的循环氢气分别进入本工序氢气缓冲罐并在罐内混合。 出氢气缓冲 罐的氢气引入氯化氢合成炉底部的燃烧枪。 从液氯汽化工序来的氯气 经氯气缓冲罐， 也引入氯化氢合成炉的底部的燃烧枪。 氢气与氯气的 混合气体在燃烧
多晶硅用途广泛,是现代社会发展建设必不可少的重要原料。在多晶硅的生产过和中,会改产生废气,如果不经处理直接排放到空气中,会对生态环境造成严重的破坏,进而影响人们的身体健康。现如今对多晶硅生产中产生的废气的处理工艺还存在许多问题,需要对其进行改造,改进不足,加以完善,从而提高对废气的回收利用率,减少有害物质的排放,达到既能够保护生态环境,又能够节约资源的目的,为我国建设可持续发展型社会和环境友好型社会做出贡献。本文对多晶硅生产中废气处理工艺改造问题进行深入的分析和研究,并提出可靠的建议,以提高对废气的处理水平,加强生态环境建设,真正实现可持续发展。
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