文章编号 ：1005-6122（2011）02-0084-04 五位 RF MEMS 开关延迟线移相器 * 金 铃 （南京电子技术研究所 ，南京 210013） 摘 要： 设计并研制了一种 6 ～11GHz、超宽带 5 位 RF MEMS 开关延迟线移相器 ，器件实现了 5 位延迟 ：λ、 2λ、4λ、8λ、16λ。该器件采用微带混合介质多层板技术 ，分 4层制作 ，尺寸为 45mm×20 mm。整个器件包括 20个 RF MEMS悬臂梁开关 ，用 60 ～75V 的静电压驱动 。6 ～11GHz 频带内 ，对 32 个相移态的测试结果表明 ：一般回波损耗 S11 ＜－10dB，各状态平均插入损耗为 －8 ～－10dB；中心频率处 ，器件可实现的最大延迟位时延为 1680ps，总时延为 3255ps。 关键词 ： 开关延迟线移相器 ，微机电系统 （MEMS），悬臂梁开关 ，微波混合介质多层
限位、定位、超程开关和安全开关 2.4.6.1限位及定位开关 1）行程终止限位开关：行程终止限位开关能测出设备正常行程终点并使之 停车。一般来讲，行程终止限位器为安装在传动装置上的专用产品或特制开关。 如螺旋传动限位开关，这种开关由螺母拨动行程终止限位开关或中间定位开关。 2）限位开关和定位开关在任何负荷或速度下，从任何方向都在规定范围内 以规定的精度重复操作。 3）中间定位开关：在合适的地方配置中间定位开关和减速开关。建议使用 的接近开关、电位器、光学或磁力编码器根据可靠性精确度选择。一般情况下， 定位距离小于 3mm的定位开关使用编码器和位置控制系统。 4）直接碰撞限位开关：行程终止限位开关选用直接碰撞限位开关，设备运 转在所选开关允许的超程范围内，限位开关通常在机械反向运行时重新自动设 定。 2.4.6.2超程限位开关 1）超程限位开关：所有电动设备都安装单独的超程限位开关，以防行程
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