利用电子背散射衍射(Electron back scattered diffraction,EBSD)对太阳能电池用多晶硅的晶界进行了研究。结果表明,太阳能电池用多晶硅中的大部分晶界为大角度晶界,且以特殊晶界Σ3和普通晶界为主,同时还存在少量小角度晶界。在制作太阳能电池用多晶硅时,重点要降低小角度晶界和Σ3的含量。
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