研究应用O2反应离子刻蚀(RIE)直接深刻蚀商用有机玻璃(PMMA)片,以实现微结构的三维微加工,工艺简单,加工成本较低,为微器件的高深宽比加工提出了新方法。试样采用Ni作掩膜,以普通的光刻胶曝光技术和湿法刻蚀法将Ni掩膜图形化。工作气压、刻蚀功率等工艺参数对刻蚀速率影响较大。在刻蚀过程中,掩膜上的金属粒子会被刻蚀气体离子轰击而溅射散落出来,形成微掩膜效应。利用这种RIE技术,在适当的溅射功率及气压下,刻蚀速率较快,且获得了较陡直的微结构图形,刻蚀深度达120μm。
本文利用透射电子显微镜和原子力显微镜研究了金属玻璃样品在离子束作用后形成的厚度起伏特征。采用高分辨透射电镜和能谱分析结果表明金属玻璃样品中没有发生明显的结构和成分的变化。利用离子束与样品表面作用过程的粗化机理解释了出现这种特征厚度起伏的原因。这种厚度起伏是由材料本身性质和实验条件共同决定的。通过研究离子束与样品的作用方式,有利于确定合适的透射电镜样品制备方法,有助于利用透射电镜研究非晶样品的微观结构。
热门知识
刻蚀玻璃的原理-
话题： 工程造价buyi_hehong
-
话题： 工程造价bxj741258963
精华知识
刻蚀玻璃的原理-
话题： 室内设计cauchlwang
最新知识
刻蚀玻璃的原理-
话题： 工程造价vatezf2005
刻蚀玻璃的原理相关专题
- 刻蚀不锈钢板多少钱一平
- 刻蚀玻璃方程式
- 激光刻蚀玻璃
- 玻璃表面刻蚀
- 氢氧化钠刻蚀玻璃
- ito玻璃如何刻蚀
- 玻璃刻蚀工艺
- 电感耦合等离子刻蚀
- 氢氟酸刻蚀玻璃原理
- 导电玻璃的刻蚀
- 基于压电堆驱动器的喷嘴挡板式气体控制阀
- 磷铵技术改造五大磷肥工程的建议
- 以大豆油多元醇制备的硬质聚氨酯泡沫塑料的性能
- 逆变TIG焊机接触引弧电路的设计(引弧电路)
- 应用模糊数学理论对公路工程建设项目方案的综合评价
- 中国吹制玻璃行业市场前景分析预测年度报告(目录)
- 可替代现有隔热保温材料的新型材料
- 以贯穿项目为核心载体的建筑工程技术专业素材库建设
- 多逆变器太阳能光伏并网发电系统的组群控制方法
- 影响萘高效减水剂与普通硅酸盐水泥适应性的关键因素
- 在全县非煤矿山和危化企业安全生产工作会议上的讲话
- 中国工程造价咨询业的发展趋势
- 支持并行工程和智能CAPP的制造资源建模技术
- 中共重庆市委重庆市人民政府关于建设平安重庆的决定
- 智能建筑工程报警与电视监控系统前端设备的安装施工
- 在“建筑节能与居住舒适”专题技术交流会议上的讲话
- 以MSP430FW427为核心的远程数字水表设计