真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为:利用机械、物理、 化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展 了很多种, 其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、 数百万升。 极限压力 (极限真空 )从粗真空到 10-12 Pa以上的超高 真空范围。 由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽, 因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作 压力范围,只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求,使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工 艺过程的需要,有时将各种真空泵按其性能要求组合起来,以机组型式应用。 凡是利用机械运动 (转动或滑动 )以获得真空的泵,称为机械真空泵。机械真空泵按其工作原理及结构特点分述 如下: 1、变容真空泵 它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵