一种机械旋转式蒸发器的设计研究
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为改进现有蒸发器无法进行旋转调节,从而导致对于不同上级机械机构和下级机械结构的位置适应能力较差,并且拆卸和安装不方便的现象,提出了机械旋转式蒸发器,并进行了结构改进分析。
基于通用旋转组合设计的热板参数分析
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光刻工艺中对热板表面温度场均匀性有极高要求,在热板设计参数选择问题上,通过使用通用旋转组合设计的方法,利用ANSYS仿真模拟软件,得到不同设计参数情况下的热板表面温度场均匀性数据。对仿真结果数据进行回归建模,回归模型计算结果与仿真结果有较高的一致性。结果表明,热板设计参数可以根据该回归模型来选择。
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