双潘宁离子源等离子体发生器电源系统
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针对强流双潘宁离子源等离子体发生器电源系统的特殊要求,介绍了灯丝电源和弧电源的组成及其作用,并对其主电路设计思路进行了相关的分析。离子源等离子体放电实验结果表明,该套等离子体电源系统达到了设计指标要求。
等离子清洗技术在大面积磁控溅射玻璃镀膜中的应用
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在大面积磁控溅射玻璃镀膜中,使用等离子清洗技术可以有效地清洁靶面和阳极表面,彻底解决使用平面磁控溅射阴极进行反应性溅射时的“靶中毒”和“阳极消失”两个问题。
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