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更新时间:2024.04.28
CCD和CMOS图像传感器性能比较

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CCD和CMOS图像传感器性能比较

CMOS工艺兼容的温湿度传感器

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设计并制备了一个CMOS工艺兼容的温湿度传感器,讨论了感湿理论模型并用COVENTOR软件进行了模拟,给出了具体的结构参数及工艺制作步骤,最后对温湿度传感器进行了测量,对理论值和实际测量值做了比较并给出了分析结果.结果表明,传感器在25℃时的灵敏度为0.015pF/%RH,从15%RH~95%RH,电容实际变化量为1.23pF.

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