四探针电阻率/方阻测试仪

概述 四探针电阻率 / 方阻测试仪（以下简称电阻率测试仪）是用来测量半导体材料（主要是硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，以及扩散层、外延层、 ITO 导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份（简称：主机）、测试架及四探针头组成。 本仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表（以万分之几的精度）适时监测全程的电流变化，免除了测量电流 / 测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供精度为 0.05% 的恒流源，使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关，在测量某些箔层材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，更好地保护箔膜。仪器配置了本公司的专利产品： “ 小游移四探针头 ” ，探针游移率在 0.1 ～ 0.2% 。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配 HQ-710E 数据处理器，测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正，并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的最大百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均习庋。给测量带来很大方便。

（1）测量范围： 可测电阻率： 0.0001 ～ 19000Ω·cm 可测方块电阻： 0.001 ～ 1900Ω· □

（2）恒流源： 输出电流： DC 0.001 ～ 100mA 五档连续可调量程： 0.001 ～ 0.01mA 0.01 ～ 0.10mA 0.10 ～ 1.0mA 1.0 ～ 10mA 10 ～ 100mA 恒流精度：各档均低于 ±0.05%

（3）直流数字电压表： 测量范围： 0 ～ 199.99mV 灵敏度： 10μV 基本误差： ± （ 0.004% 读数 0.01% 满度） 输出电源： ≥ 1000ΩM

（4）供电电源： AC 220V±10% 50/60 Hz 功率： 12W

（5）使用环境： 温度： 23± 2℃ 相对湿度： ≤ 65% 无较强的电场干扰，无强光直接照射

（6）重量、体积： 主机重量： 7.5kg 体积： 365×380×160 （单位： mm 长度 × 宽度 × 高度）2100433B

四探针电阻率/方阻测试仪

对于半导体材料的电阻率，一般采用四探针、三探针和扩展电阻。

电阻率是反映半导体材料导电性能的重要参数之一。测量电阻率的方法很多，四探针法是一种广泛采用的标准方法。它的优点是设备简单、操作方便，精确度高，对样品的形状无严格要求。

最常用的是直线型四探针。四根探针的针尖在同一直线上，并且间距相等，都是S，一般采用0.5mm的间距，不同的探针间距需要对测量结果做相应的校正。

一般四探针电阻率（电导率）测试仪均已配置厚度的修正，通过厚度数值的设置，计算出不同的样品厚度对电阻率的影响。

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