扩散喷射泵

《机械工程名词 第五分册》第一版。

泵内前一级或几级具有扩散泵的特性，而后一级或几级具有喷射泵特性的一种多级动量真空泵。

同油扩散泵一样，它也由扩散喷嘴、喷射喷嘴、泵体、扩散器、油锅、蒸气导管、冷却系统和加热器等部分组成（见图）。但在性能和泵的结构上，它同油扩散泵有不同之处。两者的极限真空不同,油扩散泵为10-4～10-5帕以至低于10-5帕,而油扩散喷射泵则为10-2帕。油扩散泵在10-1～10-4帕压力范围内要求有满抽速，而油扩散喷射泵则要求在1～10-1帕压力范围内有满抽速。如两者名义抽速相同，后者的排气量就比前者大。油扩散泵装设有分馏和净化装置，而油扩散喷射泵不但不要装分馏和净化装置，还要采用较大的加热功率加热和采用沸点低、饱和蒸气压高的泵油，致使油扩散喷射泵的油锅蒸气压比扩散泵大数倍或数十倍，即高达数百帕以至数千帕。油扩散喷射泵需要装设大扩张率(喷嘴的出口面积与其喉部面积之比)的喷射喷嘴和长的扩散器来提高泵的前级反压力，这样泵就能稳定地在10-1～1帕压力范围或在更高一点的压力范围工作。因此，油扩散喷射泵是兼具油扩散泵和喷射泵（见水蒸汽喷射真空泵）抽气性能的真空泵。 　在工作中，为了防止泵油的氧化，油扩散喷射泵的启动也与油扩散泵一样,要用前级泵预抽到1帕真空，油锅才可开始加热。

利用高压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限压力约10-2帕,工作压力范围一般为1.0～10-1帕,抽气速率范围为几百到几万升每秒,最大反压力为几百帕，是获得中真空的主要设备之一。油扩散喷射泵广泛用于真空冶炼、空间模拟试验、真空镀膜和对油污染不敏感的一些真空系统中。在真空系统中，它可以用作为主抽泵，也可串联在油扩散泵与机械真空泵之间，用来提高抽气系统在中间压力范围的抽气量和降低前级机械真空泵的抽速容量。因此它又常称为油增压泵。