化学气相沉积反应炉中的排气歧管
《化学气相沉积反应炉中的排气歧管》是艾克斯特朗欧洲公司于2017.04.05申请的专利，该专利的公布号为：CN109072429B，专利公布日：2021.06.15，发明人是：C.加勒夫斯基; S.E.萨瓦斯; M.穆基诺维克。
化学气相沉积反应炉中的排气歧管基本信息
| 中文名 | 化学气相沉积反应炉中的排气歧管 | 授权公告号 | CN109072429B |
|---|---|---|---|
| 授权公告日 | 2021.06.15 | 申请号 | 2017800276136 |
本发明提供一种用于从喷涂系统(尤其是化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)反应炉)中抽取工艺气体的装置，其包括具有流道的排气歧管(1)，其中所述流道包括吸气口(2)、在流动方向(S)上的邻接抽气段(3)、以及在流动方向(S)上布置在抽气室(3)的下游并通入吸气管线(4、4'、4")的真空泵口(20、20'，20")的集气段(5)，其中吸气口(2)的沿长边方向(L)延伸的长度显著大于沿窄边方向(W)延伸的宽度，并且其中抽气室(3)和集气室(5)由沿长边方向(L)延伸的长侧壁(6、8)和沿窄边方向(W)延伸的窄侧壁(7)限定，该限定方式使得因吸气管线(4、4'、4")中产生的负压而在流道中形成气流。在抽气段(3)和集气段(5)之间的至少一个中间空间(9)中设有阻流结构，该阻流结构在位于两个边缘区域(R)之间的中央区域(Z)中对气流施加的流动阻力比在边缘区域(R)中施加的流动阻力大。
化学气相沉积反应炉中的排气歧管造价信息
| 申请日 |
2017.04.05 |
| 专利权人 |
艾克斯特朗欧洲公司 |
| 地址 |
德国黑措根拉特 |
| 发明人 |
C.加勒夫斯基; S.E.萨瓦斯; M.穆基诺维克 |
| Int. Cl. |
C23C16/44(2006.01)I; C23C16/455(2006.01)I; H01J37/32(2006.01)I |
| 专利代理机构 |
北京市柳沈律师事务所11105 |
| 代理人 |
曲莹 |
| 优先权 |
15/091,412 2016.04.05 US |
| PCT进入国家阶段日 |
2018.11.02 |
| PCT申请数据 |
PCT/EP2017/058044 2017.04.05 |
| PCT公布数据 |
WO2017/174618 EN 2017.10.12 |
| 对比文件 |
CN 1628368 A,2005.06.15; CN 102016118 A,2011.04.13; CN 102514214 A,2012.06.27; JP 特开2003-68711 A,2003.03.07 |
化学气相沉积反应炉中的排气歧管常见问题
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排气歧管，是与发动机气缸体相连的，将各缸的排气集中起来导人排气总管的，带有分歧的管路。对它的要求主要是，尽量减少排气阻力，并避免各缸之间相互干扰。 排气过分集中时，各缸之间会产生相互干扰，也就是...
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进、排气歧管布置在发动机同一侧，不可行。没有汽车工程师会采用这种方案，实际上也没汽车是这么布置的。主要原因有两个：一是进、排气口是位于发动机两侧的，却要把进、排气歧管布置在同一侧，这在布置上有困难，也...
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进排气支管是错误的写法，支字为别字，就像很多人把轮毂的毂字写成鼓字一样。
化学气相沉积反应炉中的排气歧管文献
玻璃陶瓷基板上铜薄膜的化学气相沉积
使用低介电常数基板和高电导率、高抗电迁移的金属Cu进行布线,可以提高高密度电子封装的传输速度和可靠性。采用乙酰丙酮铜作为前驱体,在常压下利用化学气相沉积技术对玻璃陶瓷基板进行Cu薄膜金属化。利用热重分析、X射线衍射和扫描电子显微镜等技术对前驱体、Cu薄膜进行分析观察。结果表明:影响Cu导体的电阻的主要因素是沉积温度。在温度为290～310℃,N2气流量为200～350mL/min和H2气流量为450～600mL/min的条件下,获得了致密的Cu薄膜,Cu导体方块电阻为25mΩ。
排气系统排气歧管
图中显示四缸引擎其中两缸的排气歧管。由左边的剖面可以看到排气歧管直接连接在排气孔后，再结合为一。排气歧管在设计上会尽量让各缸的阻力相同，以让排气顺畅。
新鲜空气与汽油混合进入引擎燃烧后，产生高温高压的气体推动活塞，当气体能量释放后，对引擎就不再有价值，这些气体就成为废气被排放出引擎外。废气自汽缸排出后，随即进入排气歧管，各缸的排气歧管汇集后，经过排气管将废气排出。而就如进气歧管一样，气体在排气歧管内也是以脉冲的方式离开引擎，所以各缸的排气歧管长度及弯度也要设计成尽量相同，使各缸的排气都能一样的顺畅。
排气歧管，是与发动机气缸体相连的，将各缸的排气集中起来导入排气总管的，带有分歧的管路。对它的要求主要是，尽量减少排气阻力，并避免各缸之间相互干扰。 排气过分集中时，各缸之间会产生相互干扰，也就是某缸排气时，正好碰到别的缸窜来的没有排净的废气。这样，就会增加排气的阻力，进而降低发动机的输出功率。解决的办法是，使各缸的排气尽量分开，每缸一个分支，或者两缸一个分支，并使每个分支尽量加长并成型-以减少不同管内的气体相互影响。 为了减少排气阻力，有的赛车采用不锈钢管制造排气歧管。
排气歧管应考虑到发动机动力性能、发动机燃油经济性能、排放标准、发动机的成本、匹配的整车前舱布置及温度场等。
目前普遍使用的排气歧管从材料和加工工艺上分有铸铁歧管和不锈钢歧管两个类型。
用以将几个气缸排出的废气汇集排出的容积较小的排气歧管。其管内废气压力是脉动的。
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