基于虚拟切片三维数字化无损测量方法具有测量精度高、成本低、数据测量与处理快、可测量物体内部轮廓等特点,由于测量质量精度高,其测量装置中精密片层质量检测系统精度是研究的关键技术之一,直接影响微小单元体质量的计算精度,而重量载荷则是片层质量检测系统精度的主要影响因素。通过片层质量计算推导过程与工程力学有限元分析,量化重量载荷变化对片层质量误差的影响,并研究可行有效的误差补偿方法,最后通过验证实验证明该误差补偿方法具有可靠性。
应用于玻璃基板生产的在线式称重系统(以下简称称重系统),要求能够快速、精确、非接触式(不能接触玻璃基板品质保证区)的称量玻璃基板的重量。为解决原称重系统的问题,我们设计一种不需要取出装置的称重系统,这样既可解决取出、放回过程的时间占用,同时也能消除电气连接对称重精度的影响。经过实际使用,发现该称重系统仍存在一些影响精度的问题。通过改造,系统精度完全满足前一工序工艺控制的要求,能够快速反馈精确的重量数据。
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