投影灯的光学设计
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一般来说 ,有两种类型的汽车前照灯 ,一种是自由曲面反射器的前大灯 ,还有一种是投影式前照灯。近几年 ,随着汽车工业的发展 ,投影式前照灯得到了越来越广泛的使用 ,特别是用于中高档轿车上。由于投影式前照灯与其他类型的车灯相比 ,尺寸要小很多。因此可以很方便的用在AFS自适应前照系统上。而且 ,一般投影式前照灯采用HID做光源 ,同时提高了照明的质量以及舒适度。本文主要介绍投影灯的结构 ,同时讨论反射面、非球面透镜以及挡板的光学设计。最后还将给出模拟之后的效果。
投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计
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离轴照明作为一种重要的分辨率增强技术被广泛地应用于投影光刻系统。使用衍射光学元件(DOE)作为光刻照明系统的光束整形器件,能够在保持较高照明效率的基础上精确控制离轴照明光束的形状及光强分布。本文利用基于傅里叶变换的分步迭代方法,优化设计了该类衍射光学元件(DOE)。DOE采用了多台阶位相结构,设计所得8台阶DOE设计结果分别实现了偶极、四极、环形及Bulls-Eye等照明方式,其照明效率都达到了80%以上,与目标光强分布的均方根偏差均<7%。
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