砂轮表面的氧化膜对保证在线电解修整(ELID)磨削的非线性电解以及对改善磨削表面质量都具有极其重要的作用.利用纳米压痕技术研究了氧化膜的硬度、弹性模量及刚度.研究结果表明,氧化膜的硬度约为210MPa,是基体硬度的1/4~1/3,使氧化膜有效地隔离了基体与工件,避免基体划伤磨削表面;氧化膜弹性模量约为30~50 GPa,是基体弹性模量的1/6~1/3,因此弹性变形更易发生,有利于磨粒的协同性与等高性;氧化膜刚度约为15μN/nm,由于氧化膜的动态更新,其值与磨削参数有关.在精密磨削时,由于氧化膜发生弹性变形,减小了磨粒的出刃高度和磨削深度,使磨削表面质量得到改善.
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