废弃玻璃蚀刻液处理办法 有机氟残液处理方法 南京莫雷克电子科技有限公司 氢氟酸研究实验室 2014 年 10月,对废弃有机氟残液处 理,实验结果对外公布。 中国用氢氟酸做玻璃蚀刻中大型企业有十几家,光伏行业几百家,金属表面处理大型 企业十几家,每年产生废弃有机氟残液约 15000 吨,氢氟酸含量平均约 4.5% ,对环 境造成了破坏,对资源也大大浪费。 一、氢氟酸提取原理及工艺概述 1)工艺原理 在常温下 100% 氢氟酸的沸点为 19.54 度,其共沸点 38.4% ,以下浓度的氢氟酸沸点 在 112.4-100.5 度(见图 1) 如果保持足够低温 19.54 度用水吸收氟化氢,可以得到任意高浓度的氢氟酸,对 于 2.5% 体积分数的氢氟酸水溶液因它在 50度时溶液上的分压仅 30 帕(此时水蒸汽分 压为 12000 帕)帮低浓度的氢氟酸吸收 HF的效果好于新鲜水,当此吸收液循环使用
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