LED 芯片的制造过程可概分为晶圆处理工序( Wafer Fabrication )、晶圆针测工序 (Wafer Probe )、构装工序( Packaging )、测试工序( Initial Test andFinal Test)等几 个步骤。其中晶圆处理工序和晶圆针测工序为前段( Front End)工序,而构装工序、 测 试工序为后段( Back End)工序。 1、晶圆处理工序 本工序的主要工作是在晶圆上制作电路及电子元件 (如晶体管、 电容、逻辑开关等), 其处理程序通常与产品种类和所使用的技术有关, 但一般基本步骤是先将晶圆适当清洗, 再在其表面进行氧化及化学气相沉积,然后进行涂膜、曝光、显影、蚀刻、离子植入、 金属溅镀等反复步骤,最终在晶圆上完成数层电路及元件加工与制作。 2、晶圆针测工序 经过上道工序后,晶圆上就形成了一个个的小格,即晶粒,一般情况下,为便于测 试,提高效率