利用熔融稀土铈(Ce)对CVD金刚石厚膜进行了抛光研究。详细讨论了工艺参数对抛光速率和表面粗糙度Ra的影响,获得了最佳抛光工艺。通过对抛光后金刚石膜表面的拉曼光谱(Raman)、俄歇能谱(AES)、扫描电镜(SEM)以及能谱(EDS)的分析,探讨了抛光机理。结果表明:该方法有很高的抛光速率,可达每小时数百微米。抛光后金刚石膜的Ra从10.845μm降低至0.6553μm。抛光的热处理工艺不但没有破坏金刚石表面的原始结构,而且由于铈对石墨的优先刻蚀,抛光后金刚石膜表面的石墨含量还大大减少。
化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜表面粗糙且厚薄不均匀,在许多情况下不能直接使用,必须对其进行抛光。本文研究了不同型号的金刚石微粉对CVD金刚石厚膜研磨的影响,通过对研磨结果的比较分析,优化出一种高质量高效率的抛光方法,即先采用W40和W28金刚石微粉,分别研磨2 h,然后用W0.5金刚石微粉研磨4 h。经扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)测试分析表明:金刚石膜的平均去除率为12.2μm/h,粗糙度Ra由4.60μm降至3.06 nm,说明该抛光方法能实现金刚石膜高质量、高效率的抛光。
cvd金刚石相关专题
- 卡箍的量是怎么算出来的
- 卡箍工程量问题
- 卡箍件的计算问题
- 卡箍如何计算
- 卡箍与法兰有何区别
- 卡簧尺寸怎么量
- 卡普隆雨棚做什么检验批
- 卡套接头的选用标准
- 卡箍连接管道
- 卡簧钳的型号是多少
- 基于OpenGL金刚石串珠锯加工石材模拟仿真开发
- 两种预处理对硬质合金金刚石涂层附着力影响对比
- 切削花岗石、大理石、混凝土及一般石材的金刚石圆片车刀
- RF-PCVD低温沉积无色透明类金刚石保护膜的工艺研究
- 改造、革新、挖潜上下功夫努力发展我国人造金刚石工业
- 机场场道切缝导倒角金刚石锯片及其施工工艺试验研究
- 声光调QYAG脉冲激光修锐和整形青铜金刚石砂轮
- 椿树坪钒钛磁铁矿绳索取芯软胎体金刚石钻头钻进技术
- 复合片外圆磨削用陶瓷结合剂金刚石砂轮的研制及应用
- 国外石材行业用金刚石串珠绳锯的发展与现状
- 单点金刚石车削非球曲面测量数据样条拟合算法研究
- Cu-Fe基粉末烧结金刚石复合材料界面结合特性
- 复合镀金刚石及其在钢齿牙轮钻头齿面强化应用
- 单颗金刚石磨削花岗石中力的离散单元分析及试验验证
- 原位反射率测量制备金刚石X光窗口上应用
- 特大型隧道勘察中应用大口径金刚石钻探技术
- 天然金刚石振动与气体保护切削黑色金属技术研究