CS系列气体质量流量控制器/流量计
北京七星华创电子股份有限公司的CS系列气体质量流量控制器/流量计荣获2008年度中国半导体创新产品和技术奖。1创新性和先进性CS系列气体质量流量控制器/流量计是一种可以对多种中小流量气体质量流量的精确测量和控
基于uPSD的温压补偿流量控制器的设计
阐述了流量测量的温压补偿方法和基于uPSD3212c的温差补偿流量控制器的系统构造,介绍了uPSD3212c的特点及其资源配置方法,最后给出了程序框图。uPSD具有高度集成化,固件化特点,系统体积小,可靠性高。
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