石墨舟装片房

空气通过高效过滤后，阻尼层均压，使洁净的空气气流垂直单向送入装片工作区，从而保证了工作区内达到工艺要求的洁净度，操作人员在洁净的环境中往石墨舟上装硅片。

石墨舟装片房是用于太阳能行业与PECVD承载车配套、装取硅片、配制中效及高效过滤器，确保吹出的空气达到净化要求。

1、能准确的使石墨舟承载装片车定位；

2、采用不锈钢制造，整机结构坚固可靠；

3、采用GK系列高效空气过滤器3只；

4、PECVD承载车在里面可倾斜15度或旋转180度；

5、净化风机噪音小于50dB。

6、保证了工作区内达到工艺要求的洁净度100级。

薄型石墨舟皿，包括单面布置有如干载棒槽W的舟皿体、垫块和带有一定锥度的定位销，舟皿体平行载棒槽W的两端分别开有凹槽，垫块下端凸台与凹槽配合，定位销穿过凹槽中间的定位孔和垫块下端凸台中间的定位孔；载棒槽W的底部到舟皿体的底面的距离、顶部到舟皿体的底部台面的距离、垫块顶面到其上凸台面的距离、垫块与舟皿体配合后的其顶面到舟皿体底部台面的距离分别为2.0-8毫米、3-16毫米、3.8-12毫米、6.8-28毫米；载棒槽W的槽间距、槽底宽、槽高、夹角分别为2.6-12.4毫米、0.2-3毫米、1.2-9毫米、50°-60°；本实用新型既提高烧结炉单炉产量，延长舟皿的实际使用寿命，又节约舟皿材料。

[2]专利之家2100433B

一种槽型石墨舟皿，包括若干条具有相对的两槽面和和底部支撑凸起的W型双向斜槽、底面、上端面、内侧面、外侧面和与上端面相对的止口，其特征在于：所述相对的两槽面和上分别设计有至少一条排气通槽，所述底部支撑凸起与所述相对的两槽面和的相交处分别设计有一条棱角保护槽。

详细描述：

主要特点：

1、工作区内为全不锈钢结构，光亮清洁；

2、整个石墨舟保管柜采用不锈钢304制作，保证整个设备坚固可靠。