热阴极市场分析报告

中国热阴极电离真空计市场分析报告

研究了在热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积金刚石膜过程中,热阴极辉光放电特性与金刚石膜沉积工艺的关系.结果表明,适当的阴极温度是保证大电流、高气压辉光放电的必要条件.阴极的温度影响辉光放电阴极位降区的放电性质.金刚石膜的沉积速率随着气体压力(16～20kPa)的升高而上升,在18.6kPa左右出现最高值,而阳极位降区电场强度的降低使膜品质下降.放电电流(8～12A)对沉积速率的影响与气体压力的影响具有相似的规律.

热阴极与冷阴极电离规稳定性的比较研究

电离规作为参考标准或副标准时,稳定性尤为重要.通常在校准服务中,只有热阴极电离规用作参考标准或副标准,不采用冷阴极电离规的传统原因是冷阴极电离规的非连续性、低压力下放电延迟效应以及它的不稳定性等.尽管现代反磁控型冷阴极电离规被认为解决了这些问题,但没有足够的数据来证明这些特性.作者介绍了对3个热阴极电离规和2个反磁控型冷阴极电离规的校准结果,校准采用的是高真空基础标准,校准范围为10-7～10-3Pa,校准气体包括N2、Ar、He和H2.在1×10-4Pa恒定压力下连续72h观测中,热阴极电离规在N2、Ar和He中的稳定性优于反磁控规,但在H2中所有规的稳定性相似.在6个月的重复校准中,所有规在N2、Ar和He中的长期稳定性相似,但在H2中反磁控规的长期稳定性优于热阴极电离规.对于不同的气体,反磁控规的非连续性出现于不同的压力点,反磁控规的非连续性使校准工作变得更为复杂.

热阴极是通过阴极材料的热电子发射而获得电子流的一种阴极，热阴极的加热方法有两种：对发射体或它们的基金属直接通电进行加热的叫做直热式阴极；对热子进行通电加热，再由热子将热量辐射和传导给发射体的阴极叫做间热式阴极。按阴极制备材料的不同，又有纯金属阴极、原子薄膜阴极、氧化物阴极和扩散阴极、六硼化镧阴极等之分。

热阴极电离真空计的设计

结合测量高真空用的检测器--高真空电离规管,叙述了热阴极电离真空计的结构、工作原理及其用途;介绍了采用脉 宽调制(PWM)技术与推挽变换结合的方法设计出简单、实用、稳定可靠的热阴极电离真空计的驱动电路.该真空计电路性能稳定可靠,由于采用了PWM控制,并经过了变压器的电流变换,没有直接控制热阴极的大电流,从而降低了功耗,大大减少了大电流发热元件的数量,使整机的温升得到有效抑制.2100433B

类似于截止条件下工作的简单圆柱磁控管的一种热阴极电离真空计。其中，磁场用于延长电子路程，以增加离子产生的数目。

《电子学名词》第一版。

1993年，经全国科学技术名词审定委员会审定发布。