TFT是在基板 (如是应用在液晶显示器,则基板大多使用玻璃) 上沉积一层薄膜当做通道区。

大部份的TFT是使用氢化非晶硅 (a-Si:H) 当主要材料,因为它的能阶小于单晶硅 (Eg =1.12eV),也因为使用a-Si:H当主要材料,所以TFT大多不是透明的。另外,TFT常在介电、电极及内部接线使用铟锡氧化物 (ITO) ,ITO则是透明的材料。

因为TFT基板不能忍受高的退火温度,所以全部的沉积制程必须在相对低温下进行。如化学气相沉积、物理气相沉积 (大多使用溅镀技术) 都是常使用的沉积制程。如要制作透明的TFT,第一个被研究出来的方法是使用氧化锌材料,此项技术由奥勒岗州立大学的研究员于2003年时发表。

很多人都知道薄膜晶体管主要的应用是TFT LCD,液晶显示器技术的一种。晶体管被作在面板里,这样可以减少各pixel间的互相干扰并增画面稳定度。大略是从2004年开始,大部份便宜的彩色LCD屏幕都是使用TFT技术的。连在乳线和癌症X-ray检查的数位X-ray摄影技术上也很常使用TFT面板。

新的AMOLED (主动阵列OLED) 屏幕也内建了TFT层。

薄膜晶体管造价信息

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薄膜晶体管是一种绝缘栅场效应晶体管.它的工作状态可以利用 Weimer 表征的单晶硅 MOSFET 工作原理来描 述.以 n 沟 MOSFET 为例,物理结构如图 2. 当栅极施以正电压时,栅压在栅绝缘层中产生电场,电力线由栅电极指向半导体表面,并在表面处产生感应电 荷.随着栅电压增加,半导体表面将由耗尽层转变为电子积累层,形成反型层.当达到强反型时(即达到开启电压 时) ,源,漏间加上电压就会有载流子通过沟道.当源漏电压很小时,导电沟道近似为一恒定电阻,漏电流随源漏电 压增加而线性增大. 当源漏电压很大时,它会对栅电压产生影响,使得栅绝缘层中电场由源端到漏端逐渐减弱,半导体表面反型层 中电子由源端到漏端逐渐减小,沟道电阻随着源漏电压增大而增加.漏电流增加变得缓慢,对应线性区向饱和区过 渡.当源漏电压增到一定程度,漏端反型层厚度减为零,电压在增加,器件进入饱和区.在实际 LCD 生产中,主 要利用 a-Si:H TFT 的开态(大于开启电压)对像素电容快速充电,利用关态来保持像素电容的电压,从而实现快 速响应和良好存储的统一.

薄膜晶体管概念常见问题

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薄膜晶体管概念文献

第07章薄膜晶体管的结构与设计 第07章薄膜晶体管的结构与设计

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第07章薄膜晶体管的结构与设计

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低栅极电压控制下带有phenyltrimethoxysilane单分子自组装层的有机薄膜晶体管场效应特性研究 低栅极电压控制下带有phenyltrimethoxysilane单分子自组装层的有机薄膜晶体管场效应特性研究

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制作了底栅极顶接触有机薄膜晶体管器件,60 nm的pentacene被用作有源层,120 nm热生长的SiO2作为栅极绝缘层.通过采用不同自组装修饰材料对器件的有源层与栅极绝缘层之间的界面进行修饰,如octadecyltrichlorosilane(OTS),phenyltrimethoxysilane(PhTMS),来比较界面修饰层对器件性能的影响.同时对带有PhTMS修饰层的OTFTs器件低栅极电压调制下的场效应行为及其载流子的传输机理进行研究.结果得到,当|VGS|<0.1 V时,载流子在如此小的栅极电压调制下已经不能过多在半导体有源层与栅极绝缘层之间的界面处积聚,使OTFTs器件的输出电流保持相对的平衡.但是,器件的调制栅压在-0.001V时,器件仍然有好的输出特性,当VDS为-20 V时,器件的场效应迁移率为3.22×10-3cm2/Vs,开关电流比为1.43×102,阈值电压为0.66 V.

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氧化物薄膜晶体管和非晶硅薄膜晶体管的主要区别是电子通道的材料是氧化物而不是非晶硅。常用的衬底为二氧化硅。薄膜晶体管主要应用于液晶显示器(LCD)和有机发光半导体(OLED)中。在传统的晶体管中,半导体材料为衬底,如晶圆。

薄膜晶体管(thin film transistor, TFT)是平板显示的核心器件,不论AMLCD显示还是AMOLED显示,其每一个像素都依赖TFT进行开关和驱动。根据TFT有源层半导体材料的不同,当前主流的TFT技术可分为氢化非晶硅(a-Si:H)TFT、低温多晶硅(low-temperature poly-Si, LTPS。TFT和非晶氧化物(AOS)TFT。

其中,a-Si:HTFT和poly-Si TFT已经在平板显示面板工艺中实现了大面积产业化。然而,a-Si:H TFT较低的迁移率(<1cm2/Vs)不能满足下一代平板显示的驱动要求,而poly-Si TFT较差的大面积均匀性使其主要面向小尺寸显示的应用中。

另一方面,氧化物TFT以其迁移率较高(几~几十cm2/Vs)、大面积均匀性较好、制备工艺温度较低等诸多优势被认为最有可能应用于下一代平板显示中。

非晶硅薄膜晶体管(a-Si:H TFT--amorphous silicon thin film transistor)沟道采用非晶硅材料制成。由于非晶硅可以淀积在各种大面积的衬底上,所以生产成本低廉,得到了广泛的应用。

中文名称
非晶硅薄膜晶体管
英文名称
α-Si∶H thin film transistor,TFT
定  义
利用氢化非晶硅具有敏感的场效应特性制备的薄膜场效应晶体管。具有很低的关断电流和很高的开关电流比,广泛用于液晶显示屏和平面摄像器件的地址矩阵。
应用学科
材料科学技术(一级学科),半导体材料(二级学科),非晶和微晶半导体材料(三级学科)

本书基于薄膜晶体管液晶显示器的生产和设计实践,首先介绍了薄膜晶体管液晶显示器的基本概念和器件原理,然后以产品开发的角度从面板设计与驱动、液晶盒颜色设计、液晶光学设计、电路设计和机构光学设计方面的基础内容进行了详细介绍,接着介绍了显示器的性能测试方法,最后再介绍了阵列、彩膜、液晶盒和模组四大工艺制程。

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