造价通
更新时间:2024.04.29
无尘车间设计规范要求(最全)

格式:pdf

大小:196KB

页数: 6页

纯臻净化 无尘车间设计规范要求(最全) 随着全球经济一体化的进程,我国的企业不仅同国内的企业展开激烈的竞争, 而已还要跟国外企业展开更为广阔更为激烈的竞争, 所以我们现在的企业不得不 进行转型、升级、创新,因为只有这样我们才能生存。而在这种商业环境下,洁 净技术将被我们越来越重视, 因为洁净厂房不仅能保证工作人员身体健康, 而且 对产品的质量、精度、成品率、稳定性等都有显著作用。 一、无尘车间设计的相关政策方针 无尘车间设计必须贯彻执行国家的有关政策方针, 必须做到技术先进、经济合理、 安全适用、保证质量、节约环保等要求。洁净厂房设计应为施工安装、测试、维 护管理和安全运行创造必要的条件,应符合现行的国家标准、规范的有关要求。 二、空气洁净度等级 无尘车间空气洁净度等级的检验, 应以动态条件下测试的尘粒数为依据。 洁净厂 房空气洁净度的测试,应符合如下表规定: 纯臻净化 注:对于空气洁净度

安徽集成电路无尘车间设计施工要求

格式:pdf

大小:544KB

页数: 7页

集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室, 该无尘车间对 环境洁净度、温湿度、振动、 ESD、AMC 控制等都有一定的要求。相对于其他 工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、 洁净等级高、 温湿度控制精度高 等特点。 根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型: 循环空调机配合 高效送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和 FFU循环系统。 第一种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用, 对于大面 积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。 第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求, 但 运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作 灵活性很低。 第三种的 FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低, 而且操作灵活性很高, 可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整, 这

热门知识

万级无尘车间设计与施工

精华知识

万级无尘车间设计与施工

最新知识

万级无尘车间设计与施工
点击加载更多>>
万级无尘车间设计与施工相关专题

分类检索: