序号 名称 型号 规格 数量 单位 价格 使用场所 厂家 更换日期 备注 1 方阻测试仪探针头 KDY-1型 1 个 900元 扩散工段 广东昆德 2011年8月5日 维修购买更换 2 交流接触器 CJX2-32 1 个 90元 去磷硅玻璃工段无锡奥曼特科技有限公司 2011年8月8日 维修 3 皮带（真空泵) A762 2 根 15元 PECVD工段 高淳大市场 2011年8月1日 改造 4 单向阀 KJ-20 2 个 120元 PECVD工段 南京飞翔气动 2011年8月1日 改造 5 轴流风机 200ZY2-D 2 个 200元 制绒工段 上海兴益 2011年8月8日 维修 6 交流接触器 CJ20-10 1 个 40元 PECVD工段 南京正泰电器 ############ 维修 7 水泵电机 3.7KW 1 个 260元 外围 外修 ############ 维修 8 刻蚀电机
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