为研究纳米复合膜超硬机理和促进其商业应用,利用电弧离子镀制备了Ti N-Cu纳米复合膜,并对其表面形貌、晶体结构、能谱、XPS谱和硬度进行研究.结果表明:沉积膜仅含有Ti N相和少量的Ti相,Ti N相晶粒尺寸随薄膜Cu含量的增加而逐渐减小;尽管有的沉积膜中Cu原子数分数高达8.99%,但仍没有发现金属Cu相或Cu的化合物相衍射峰;沉积膜中Cu元素以金属Cu的状态存在,Ti主要以Ti N相存在,少量以金属Ti相存在,但没有Ti2N相;薄膜生长过程中,Cu、Ti和N共沉积,竞争生长,Cu的加入抑制了Ti N晶粒的长大;沉积膜的硬度随Cu含量增加而增加,达到最大值后下降,薄膜硬度随Cu含量变化与薄膜中Ti N相或Cu相尺寸有关.
为研究纳米复合膜超硬机理和促进其商业应用,利用电弧离子镀制备了Ti N-Cu纳米复合膜,并对其表面形貌、晶体结构、能谱、XPS谱和硬度进行研究.结果表明:沉积膜仅含有Ti N相和少量的Ti相,Ti N相晶粒尺寸随薄膜Cu含量的增加而逐渐减小;尽管有的沉积膜中Cu原子数分数高达8.99%,但仍没有发现金属Cu相或Cu的化合物相衍射峰;沉积膜中Cu元素以金属Cu的状态存在,Ti主要以Ti N相存在,少量以金属Ti相存在,但没有Ti2N相;薄膜生长过程中,Cu、Ti和N共沉积,竞争生长,Cu的加入抑制了Ti N晶粒的长大;沉积膜的硬度随Cu含量增加而增加,达到最大值后下降,薄膜硬度随Cu含量变化与薄膜中Ti N相或Cu相尺寸有关.
复合膜结构相关专题
- 想安装钢结构复合板房
- 复合制国家结构是什么
- 钢结构复合板房
- 钢木复合门是什么结构
- 多层实木复合地板结构
- 铝塑复合门窗标准
- 复合材料碳纤维
- 复合腔体隧道加固
- 复合地基加固
- 碳纤维复合材料公司
- 定征复合板材粘接层性质的非线性超声兰姆波方法
- 张力膜结构的设计与分析——某商业中心屋顶风雨操场
- 新型防腐管材钢骨架塑料(HDPE)复合管
- 有机硅憎水剂对发泡水泥复合保温板性能的影响_胡君
- 振动沉管CFG桩复合地基在饱和软土地基工程的应用
- 制备质子交换膜燃料电池碳／碳复合材料双极板的方法
- 中电三十八所无线测试塔工程复合土钉墙支护施工方案
- 新型陶瓷化高分子复合耐火硅橡胶耐火电缆的研制
- 应用复合梁单元实现钢管混凝土拱桥的极限承载力分析
- 增强水泥(GRC)聚苯复合板外墙保温施工工艺标准
- 基于开心果壳的新型木塑纳米复合材料
- 匀质改性复合防火保温板建筑外保温系统应用技术导则
- 振冲法加固油罐软粘土复合地基的现场测试与工程实录
- 增大截面与CFRP复合加固素混凝土短圆柱试验
- 整体式先张法预应力混凝土复合圆管涵洞的结构及安装
- 枣庄膜结构车棚施工准备枣庄膜结构车棚夏季维护方法
- 增强水泥GRC聚苯复合板外墙内保温施工交底记录.