文章编号 ：1005-6122（2011）02-0084-04 五位 RF MEMS 开关延迟线移相器 * 金 铃 （南京电子技术研究所 ，南京 210013） 摘 要： 设计并研制了一种 6 ～11GHz、超宽带 5 位 RF MEMS 开关延迟线移相器 ，器件实现了 5 位延迟 ：λ、 2λ、4λ、8λ、16λ。该器件采用微带混合介质多层板技术 ，分 4层制作 ，尺寸为 45mm×20 mm。整个器件包括 20个 RF MEMS悬臂梁开关 ，用 60 ～75V 的静电压驱动 。6 ～11GHz 频带内 ，对 32 个相移态的测试结果表明 ：一般回波损耗 S11 ＜－10dB，各状态平均插入损耗为 －8 ～－10dB；中心频率处 ，器件可实现的最大延迟位时延为 1680ps，总时延为 3255ps。 关键词 ： 开关延迟线移相器 ，微机电系统 （MEMS），悬臂梁开关 ，微波混合介质多层
1． 格罗皮乌斯（ 1887～1969） 现代建筑师和建筑教育家，现代主义建筑学派的倡导人之一，包豪斯的创办人。 ■主要建筑理论 ①建筑要随着时代向前发展， “建筑没有终极，只有不断的变革” 。 ② 为了创造符合现代社会要求的新建筑，格罗皮乌斯坚决的同建筑界的复古主义思潮进行 论战。“真正的传统是不断前进的产物，它的本质是运动的，不是静止的，传统应该推动人 们不断前进。”，“美的观念随着思想和技术的进步而改变。 ” ③ 在建筑设计原则和方法上格罗皮乌斯在 20年代和 30 年代比较明显地把功能因素和经济 因素放在最重要的位置上。 （法古斯工厂和科隆展览会） ；到了美国以后， 随着时代和环境的 改变，他的思想也发生了变化，认为艺术最重要的是对形式、空间和色彩的感觉和体验。 一个人的建筑观点总是反映着时代和环境的烙印。他从没有轻视建筑的艺术性。之所以 20 年代末前比较强调功能、技术、和经济，
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