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更新时间:2025.05.11
金刚石复合片耐磨性研究

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采用不同的合成工艺,在高温高压下合成出金刚石复合片(PDC),并进行磨耗比测试,进而对样品高温热处理前后的磨耗比进行对比。结果表明:在保持其他条件(合成压力,合成温度,合成时间)不变的情况下,样品的磨耗比随烧结温度的升高先增加后减小;随合成时间先增加后减小;随金刚石粒度的增大而增加。测过磨耗比后,对样品进行无气氛保护高温热处理,并再次对样品进行磨耗比测试。试验发现:在较低合成温度或较短合成时间下合成的样品经高温处理后磨耗比较处理前增加,而在较高合成温度或较长合成时间下合成的样品磨耗比减小。经多次试验和分析得出:合成压力在5~5.5GPa,T3温度下,烧结6分钟为最佳合成工艺,在此条件下合成的金刚石复合片的磨耗比为40×104。

大面积金刚石膜/Si衬底复合片均匀性研究

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对直流电弧等离子体喷射化学气相沉积技术,在φ76.2 mm的Si衬底上沉积得到的金刚石膜,通过SEM和激光Raman表征其质量均匀性。为缓解金刚石膜/Si复合片的内应力,采用台阶式冷却的方式,对样品在1 050℃进行真空退火处理,使样品内的压应力从3.09 GPa减小到1.16 GPa。对样品生长面进行机械抛光,采用表面轮廓仪检测其表面粗糙度均匀性。结果表明:在76.2 mm的金刚石膜/Si复合片上获得的表面粗糙度小于5 nm。

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