無塵室的天花板、地板及牆 無塵室有五個特性 : (l) 耐久性。(2)成本。 (3) 適應性。 (4) 可維護性 。 (5)清洗 。 (1)耐久性: 無塵室要有符合環境、無塵室內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統 的耐久材料。而耐久性，同時也依賴無塵室等級來建造。半導體 Fabs 傾向選擇 鋁，基於它的耐久性，然而，它不是便宜的物質。 (2)清洗: 在製藥和生物工學工業，無塵室的牆壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止 濾過性病毒或細菌的污染之特性。在 biotech 市場，清洗真正地是一個最重要 的企業。 (3)成本: 微電子 C/R 建設費可能花費到$10 億。fab 能更快的被建造起來，產品也就 能更快達到這市場。 許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而 " 錢" 將 成為一個很重要的考慮因素。 (4)適應性: 一些廠商認為適應性可節省一筆金錢 ，而適
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