空气洁净度等级 空气中悬浮粒子洁净度以等级序数 N 命名。每一被考虑的粒径 D 的最大允许粒： Cn ＝10N×（0.1/D）2.08 式中Cn—被考虑粒径的空气悬浮粒子最大允许浓度 (pc/m3·空气 )。Cn 是以四舍五 入至相近的整数，通常有效位数不超过三位数。 N—ISO 等级级别，数字不超过 9， ISO 等级级别 N 之间的中间数可以按 0.1 D—被考虑的粒径 (μm)。 0.1—常数，其量纲为 μm。 表1 列出的空气中悬浮粒子洁净度等级及其相应的大于或等于被考虑的粒径的 粒子浓度。在有争议的情形下，从公式 (1) 得出的浓度 Cn 可作为标准值。 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级 ISO等级序数 (N) 大于或等于表中粒径的最大浓度限值 (pc/m3—空气浓度限值按公式 (1) 计算 ) 0.1μm 0.2μm 0.3
空气洁净度等级 空气中悬浮粒子洁净度以等级序数 N 命名。每一被考虑的粒径 D 的最大允许粒： Cn ＝10N×（0.1/D）2.08 式中Cn—被考虑粒径的空气悬浮粒子最大允许浓度 (pc/m3·空气 )。Cn 是以四舍五 入至相近的整数，通常有效位数不超过三位数。 N—ISO 等级级别，数字不超过 9， ISO 等级级别 N 之间的中间数可以按 0.1 D—被考虑的粒径 (μm)。 0.1—常数，其量纲为 μm。 表1 列出的空气中悬浮粒子洁净度等级及其相应的大于或等于被考虑的粒径的 粒子浓度。在有争议的情形下，从公式 (1) 得出的浓度 Cn 可作为标准值。 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级 ISO等级序数 (N) 大于或等于表中粒径的最大浓度限值 (pc/m3—空气浓度限值按公式 (1) 计算 ) 0.1μm 0.2μm 0.3
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